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化学腐蚀制备多晶硅酸盐
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第25卷第2期 太阳能学报 vol25,No,2
舶04年4冗 A姐AENEEK;IAE90LARISSINICA A牡,2004
0138.04
文章编号:0254一∞96【2∞4】02
化学腐蚀法制备多晶硅的绒面
卢景霄1,孙晓峰1,王海燕1,李维强1,谷锦华2
(1部州大学物理上程学院,郑州450052;2中国科学院半导体研究所,北京1000舯)
摘要:为了降低光在多晶硅表面的反射,采用化学腐蚀法在其表面制备了绒面。根据反射光谱
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