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氯化铁蚀刻溶液

三氯化铁蚀刻液;概述:;蚀刻机理 ;蚀刻铜箔的同时,还伴有一些副反应,就是CuCl2和FeCl3的水解反应: FeCl3+3H2O →Fe(OH)3↓+3HCl CuCl2+2H2O →Cu(OH)2↓+2HCl 生成的氢氧化物很不稳定,受热后易分解: 2Fe(OH)3 →Fe2O3↓+3H2O Cu(OH)2 →CuO↓+H2O 结果生成了红色的氧化铁和黑色的氧化铜微粒,悬浮于蚀刻液中,对抗蚀层有一定的破坏作用。 ;Fe3+的消耗量与Fe3+及Cu2+溶铜量的关系 ;影响蚀刻速率的因素;;刻液中加盐酸的添加量 在蚀入盐酸,可以抑制FeCl3的水解,并可提高蚀刻速率。尤其是当溶铜量达到37.4g/l后,盐酸的作用更明显。但是盐酸的添加量要适当,酸度太高,会导致液体光致抗蚀剂(如骨胶、聚乙烯醇等)涂层的印制板只能用低酸度溶液。 蚀刻液的搅拌 静止蚀刻的效率和质量都是很差的。原因是在蚀刻过程中在板面和溶液里会有沉淀生成,而使溶液呈暗绿色,这些沉淀会影???进一步的蚀刻。 采用空气搅拌,喷淋或泼溅操作都可以加快蚀刻反应。蚀刻速率的提高是由于部分Fe2+和Cu1+重新氧化成Fe3+和Cu2+。 4Fe2++O2+4H+ →4Fe3++2H2O 4Cu1++O2+4H+ →4Cu2++2H2O ;硫酸-铬酸蚀刻液 对电镀锡铅合金抗蚀层的印制板有良好的蚀刻效果。但铬酸是属于“三废”中国家排标的第一类有害物质,对人和动植物均有害。因此,现在几乎不用它来蚀刻印制板。 过硫酸铵蚀刻液 适用于用网印抗蚀印料、干膜、金等作抗蚀层的印制板。但是它的蚀刻速度和溶铜能力都不如氯化物蚀刻液高,易分解,加之成本高,一般用于图形电镀前铜箔表面的微蚀刻处理。 硫酸-双氧水蚀刻液 可用于图形电镀前的微蚀刻处理。近年来开始用于印制板蚀刻。它的特点是不浸蚀锡铅合金,溶液组分非常简单,蚀刻后的产物只有硫酸铜。蚀刻液可以经过再生与回收,得到纯度高的硫酸铜晶体。因此大大减少废液排放和环境污染,是目前有发展前途的蚀刻液。

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