传感器设计报告10年6月.docVIP

传感器课程设计 题目：Mems 气体传感器设计和检测技术 姓名： 张 虎 学号： 0705010611 院系： 测控技术与通信工程学院 班级： 测控 07—6班 教师: 冯 乔 华 时间： 2010年1月8号 目 录 一 设计题目…………………………… 二 题目……………………………..... * 介绍mems………………………………….. …….. * 介绍传感器组成………………………………….. * 什么是二氧化锡………………………………… 三 设计目的………………………….. * 主要介绍传感器…………………………………......... 四 设计原理………………………….. * 气敏电阻传感器………………………………………........ * 气敏效应原理……………………………………… 五 用途…………………...................... 六 电路和参数的设计…………………………. * 灵敏性……………………………………………… * 选择性 ……………………………………………. * 工作温度和环境…………………………………… * 检测原理…………………………………………… 七 误差分析…………………………. 八 气敏传感器的可靠性及保护原理 Mems 气体传感器设计和检测技术 一 设计题目: Mems 气体传感器设计和检测技术 1. 什么是MEMS技术? MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。 MEMS是微机械(微米/纳米级)与IC集成的微系统，即具有智能的微系统，MEMS基于硅微加工技术但不仅限于它。简单来说，MEMS就是对系统级芯片的进一步集成。我们几乎可以在单个芯片上集成任何东西，像运动装置、光学系统、发音系统、化学分析、无线系统及计算系统等，因此MEMS技术是一门多学科交叉的技术。MEMS器件价格低廉、性能优异、适用于多种应用，将成为影响未来生活的重要技术之一。 2 传感器的构成 二 目的 研制一种可检测空气中CO、SO2 、H2S 和NO2 4 种气体浓度的一体化小型多功能有害气体快速检测仪,以适用于公共场所、突发事件及平战时空气卫生的监测。方法设计的LK- 4 有害气体检测仪为4 通道泵吸式采样,气体传感器检测被测气体产生相应的电信号,信号采集放大后转换为标准信号,逐一送入模数转换电路被中央处理器读取,经程序计算分析后结果在液晶屏上显示,并对检测结果储存和打印。结果LK24 有害气体检测仪主要技术指标:体积为230 mm ×80 mm ×210 mm;工作温度为- 20～50 ℃;CO 测定范围为0～625. 0 mg·m23 ,最低检出限 为0. 1 mg·m23 ;SO2 测定范围为0～28. 0 mg·m23 ,最低检出限为0. 1 mg·m 23 ;H2S 测定范围为0～40. 0 mg·m23 ,最低检出限为0. 1 mg·m23 ;NO2 测定范围为0～41. 0 mg·m23 ,最低检出限0. 2 mg·m23 。 结论LK24 有害气体检测仪具有检测结果准确、精密度高、小型便携、一体化组合、检测结果可储存和打印、稳定性好等特点,可对空气中常见有害气体进行快速检测。 三 原理介绍 1气敏电阻传感器： 气敏电阻传感器简称气敏电阻，又称气敏元件，有人称其为“电子鼻”。它的电阻值跟检测气体的浓度（成分）而变化，能将被测气体的浓度（成分）信号转化成相应的电信号。气敏传感器是一种基于声表面波器件波速和频率随外界环境的变化而发生漂移的原理制作而成的一种新型的传感器白色四角晶体,密度7,熔点1127摄氏度.稀酸和碱液.与碱共溶形成锡酸盐.用于制造不透明玻璃,瓷铀和玻璃擦光剂.天然产的是锡石.可由中灼烧而制得. 　　又名氧化锡，式量150.7。白色，四方、六方或正交晶体，密度为6.95克/厘米3，熔点1630，于1800～1900升华。难溶于水、醇、稀酸和碱液。缓溶于热浓强碱溶液并分解，与强碱共熔可生成锡酸盐。能溶于浓硫酸或浓盐酸。用于制锡盐、催化剂、媒染剂，配制涂料，玻璃、搪瓷工业用作抛光剂。锡在空气中灼烧或将Sn(OH)4加热分解可制得。 　　分子式(Formula)： SnO2 　　分子量(Molecular Weight)： 150.69 　　CAS No.： 18282-10-5 　　主要用途 本产品用作电子元器件生产、搪瓷色料、锡盐制造、大理石及玻璃的磨光剂;制造不透明玻璃、防冻玻璃和高强度玻璃等， 还可用于对有害气体的监测。（SnO2为敏感材料制成