微机电系统技术的研究现状和展望 mems technology research status and further research works forecast.pdfVIP

EPE电字工业毫用设苗 Equ嘶entfor啦咖mkP刚I腓M叩山咖^吨 趋势与展望 微机电系统技术的研究现状和展望 产宇寸，牲端 摘要：敝机电系统(MEMS)是由微加工枝术制造的微型传感嚣微型执行嚣厦集成电路组成的 器件或系统舟绍TMEMS技术的研究背菁和发展Ⅱ程．着重阐迷T微机电系统的核心枝求和 商业应Ⅲ．其中特别提到T堆芯H系统i面的前％研究最后就MEMS技术的前景和研究方向 进行7探计和展望 美键词：搬扎电舔筑：馘加i技卡：≈L最境：加速度计 中图分类号：TN409 文献标识码：A MEMS ResearchStatusandFurtherResearch Technology WorksForecast YANYucalZHANGDilan ofInformation 310023 ofTcchnology．HangzhouChina) College Engin∞dngZhejiangUnivemity Abstract：MEMSisa Or microscnsor，microexecutor micro-componentmicro—systemintegratedby andICThe oftheresearchmainMEMScorc andMEMS wcm background technology applications introduced ina wcrc theresearchworks introducedconclu— Especially single—chipsystem Finally sionsat-edrownastowtohemfutureMEMS lead technologymay fabrication Keywords：MEMS：Micro-machinedtechnology；SOC；Accderometer 馓掣化址近儿l午自然科学和T程技术发腱 K寸a一癌米数帚缴．材料基于硅仳小仪限于硅，区 领域的个艰罄冉向．m】微／纳米技术的研究则 别f传统的机械。 址喙领域艇聪们巫-『12匝。微机电系统(MI- 自20世纪80年代起，MEMS已经走出丁最 协的理论研究、器件开发和实验室研究．笈艘到 cm-Electro．Mechanical．Systems，简称MEMS)是指 北微’％结构的传感器、微耻执行器种佑母处理b 一个幅与戚熟的瞬段．小仪可以人规模啦P，1协 榨制电踏j：体，形成同时儿“佑血获取、处理和 ¨嘘J目到很多新必领域。在未来的5～10年蚓． 执¨_I：JJ能的钾能微掣器件战微，H乐缆；微机ln系I¨_羿弃地小川领域的罩斗研L=作者对MEMS的研 统的…【。的特征尺目i_『=微米数{t}级．系统的特机究将延仲至机械、材料、光学、流体、化学、医学、 收稿B期：20||0310 万方数据 q=物等学科，技术影响遍及包括各种传感器件、 印机市场，其利润超过IO亿美元p】。 l*疗、生物．占片、机器人、通信、能源、武器、航空 (2)汽车上嵌入的压力传感器。 航天等领域。 (3)加速度计¨01丰¨陀螺仪i”被虚用到丁模拟器 在垃初的10到l5年