微机电系统动态特性的光学检测方法 optical measuring methods for dynamic mems characterization.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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微机电系统动态特性的光学检测方法 optical measuring methods for dynamic mems characterization.pdf

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微机电系统动态特性的光学检测方法 optical measuring methods for dynamic mems characterization

20 2 Vol.20 No.2 第卷第期电子测量与仪器学报 JOURNALOFELECTRONIC ~ 30 ~ MEASUREMENTANDINSTRUMENT 2006 4 年月 HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH 微机电系统动态特性的光学检测方法陈津平胡小唐郭彤 ( 300072 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津 ! (MEMS MEMS O 摘要微机电系统的动态表征是为可动器件的设计和加工过程提供可靠的实验数据反馈文中构建了 MEMS 一个 \ \ O 动态测试系统它采用了光学检测方法具有非接触快速高精度等优点系统分别采用光流技术和显微干涉技 O 术对 MEMS 结合频闪照明的方法器件的面内和离面运动特性进行了测量通过对一个微加工水平谐振器的运动特性测量实验说明了系统具有的功能 O ! 关键词微机电系统光学检测动态特性光流技术显微干涉频闪照明 OpticalmeasuringmethodsfordynamicmEmScharacterization ChenJinping guoTong ~uxiaotang (StatekeylaboratoryofprecisionMeasuringTechnoiogyandInstruments Tianjinlniversity Tianjin300072 China AbstractApurposefordynamicMEMScharacterizationistoprovidereiiabieexperimentaidatafeedbackto 1 theprocessofdesignandfabricationofmovabieMEMSdevices.Adynamicmeasuringsystemwasbuiitupusing someopticaimethodswhicharenon-contactfastandhighprecision.Thissystemempioyedopticaifiowtechnoio- gyandmicroscopicinterferometrycombiningwithstroboscopiciiiuminationtoreaiizethemeasurementofin-piane andout-of-pianemotionsofMEMSdevices.Thecapabiiitiesofthesystemareiiiustratedwithastudyofthedynam- icbehaviorofamicro-machinediaterairesonator. 1 (