退火对溶胶-凝胶法cofe_2o_4薄膜结构与磁性的影响 effect of annealing on the microstructure and magnetic properties of cofe_2o_4 thin films prepared by sol-gel method.pdfVIP

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2017-08-18 发布于上海
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退火对溶胶-凝胶法cofe_2o_4薄膜结构与磁性的影响 effect of annealing on the microstructure and magnetic properties of cofe_2o_4 thin films prepared by sol-gel method.pdf

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退火对溶胶-凝胶法cofe_2o_4薄膜结构与磁性的影响 effect of annealing on the microstructure and magnetic properties of cofe_2o_4 thin films prepared by sol-gel method

退火对溶胶一凝胶法CoFe204薄膜结构与磁性的影响解群眺，杨成韬，张亚磊 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都610054) 分析。结果表明，薄膜退火温度在450℃及以上时生成无择尤取向的单一尖晶石相。随着退火温度上升，薄膜的晶化程度增高，肘：增大。650C左右退火薄膜晶粒达到单畴临界尺寸，导致风随着退火温度的继续上升而逐渐下降．EDs分析表明，成膜后的化学计量比偏移很小。关键词：CoFe204薄膜；溶胶．凝胶法；结构；磁性；成分中图分类号：TM277+．1；0484．4+3文献标识码：A and Effectof ontheMicrostructure Annealing MagneticProperties of Thinfilms Sol-GelMethod CoFe204 Preparedby XIE Ya-lei Qun—tiao，YANGCheng—tao，ZHANG State ThinFilmsand IntegratedDevices，University KeyLaboratoryofElectronic ofElectronic and 61 Science 0054,China TechnologyofChina，Chengdu filmswere on metllodfollowed Abstract：CoFe204(CFO)thinsynthesizedSi(001)substratesbysol-gel by short microstructureand ofthe were and atdifferent magnetic samplesanalyzed annealing temperatures．The properties measuredXRD。AFM，VSMand resultsshowedthatthefilmsannealedatand by EDS，respectively．Theexperiment above450℃havea ofthe structurewithout orientation．The onlysinglephase spinel anypreferredcrystalline andthe oftheCFOthinfilmsincreasewiththeincreaseof crystallizationdegree Ms slowly annealingtemperature．The criticalsizeatabout causesdecrease theriseof grainsizeachievesthe 650℃，which in皿with single．doma