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10薄膜干涉课件

§1-§3 光的干涉;a;透镜只改变方向!;§2.分波前干涉;§3.分振幅干涉;a;讨论附加光程差;具有相同入射 倾角的光线汇 聚成同一级条纹;焦平面;2.条纹动态:;例1: 空气中的水膜(n=1.33),厚度d=320nm, 当白光正入射时,反射光中含哪些颜色?;解.(1);i =0;增透膜原理;;若反射光相消干涉的条件中取k=1,计算膜的厚度.;此膜对反射光相干加强的条件:;光程差;第k条暗纹;3.条纹动态思考;待测薄膜;例4:制造半导体元件时,常常要精确测定硅片上二氧化硅薄膜的厚度,这时可把二氧化硅薄膜的一部分腐蚀掉,使其形成劈尖,利用等厚条纹测出其厚度.已知Si的折射率为3.42,SiO2的折射率为1.5,入射光波长为589.3nm,观察到7条暗纹.求SiO2薄膜厚度?;例5.用波长为?的单色平行光垂直照射由两块平板玻璃构成的空气劈尖.当劈尖夹角由?1减小为?2时,计算从劈尖棱数起的第4条明纹的位移和对应的空气膜厚之差.;例6:利用空气劈尖检测工件平整度,得到如图的等厚干涉条纹,问平玻璃下面的工件表面有什么毛病;并计算毛病的尺寸.;a;作业 《拓展》P133- 2, 3;牛顿环(略讲);dk;牛顿环图样;例7:牛顿环实验中,?=589.3nm,测得 第k个暗环半径为5.63mm,第k+5个暗环半径 为7.96mm. 求(1)平凸透镜的曲率半径. (2)k=?; 四 迈克尔孙干涉仪 (Michelson’s interferometer);M1与M?2 严格地相互平行,因而M1与M?2形成一厚度均匀的空气层(平行膜),空气薄膜两表面上反射的光线汇聚,在E将产生环形的等倾条纹。 如果M1、M2不严格地相互垂直,则M1与M?2间构成一楔形的空气层,因而将产生一组相互平行的等厚干涉条纹。;M2的微小位移就要引起像M?2的等量位移.这时,就要引起干涉条纹的移动.计算移过视场中的条纹数目?N,就可以算出M?2或M2移动的距离:;例8.在迈干涉仪的两臂中分别引入10cm长的玻璃管A、B ,其中一个抽成真空,另一个在充以一个大气压空气的过程中观察到107.2 条条纹移动.所用波长为546nm.求空气的折射率?;例9.在迈克耳孙干涉仪的一支光路中,放入一片折射率为n的透明介质薄膜后,测出两束光的光程差的改变量为一个波长,计算薄膜的厚度。;例10. 迈克尔孙干涉仪中的反射镜M1以匀速V平移,观察屏上一固定点测得光强变化的频率为?,求入射光的波长.;光的干涉总结:; 2. 薄膜干涉;其中:k=1,2,3? ?;例11. 真空中波长为?的单色光,在折射率为n的透明均匀媒质中,从A点沿某一路径传到B点,路径长l,A,B两点的相位差记为??.则;例12. 杨氏双缝实验两缝到达屏上某点的光程差为?/3,则此点光强是屏上最大光强的多少倍?;n1; h;待测薄膜;例16:为测量金属丝直径用如图的干涉装置,现知;a

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