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三氟化氯的制备及其反应性质!
低 温 与 特 气 第 卷 (1 三氟化氯的制备及其反应性质! 摘要 介绍了三氟化氯的性质和特性及制备 并对安全处理问题提出建议 # $ 关键词 三氟化氯 制备 性质 % % 中图分类号’()*+ , 文献标识码- 文章编号(../0/1.*2)...3.40..,)0., 世纪 年代 首次合成出三氟化氯 活性氟物质 ). ,. # 2 3# $ 567 , 它是卤素氟化物中反应活性最强的化合物之一 与其它含氟气体不同 如 和 $). 2 A7 B57 57 3# , ) 4 * 世纪 年代 从其用作火箭燃料氧化剂的研究开 在室温下能与半导体材料进行反应 因为 8. # 567 $ 567 , , 始 人们便开始关注其性质和工业生产情况 同时 具有这种反应特性 所以不必用等离子体就可用它 # $ # # 在核工业领域 还开发出其它一些应用 至今还在 来清洗冷壁的 工艺室 用 进行清洗是一 # # 59: $ 567 , 采用三氟化氯从辐射性燃料中回收铀元素$ 种化学刻蚀过程#而不存在像二极管7等离子体 三氟化氯一个必威体育精装版的并且发展较快的应用 就 那样的高能离子轰击过程 没有了离子轰击过程 对 # $ # 是无等离子体就地清洗半导体生产装置 然而 由 工艺室的损坏可降到最低限度 并且已被事实证明 $ # # 于三氟化氯具有易反应的化学性质 在将它用于任 还可延长两次湿式清洗的间隔时间 # $ 一过程之前#重要的是对该化学产品和合适的处理 虽然用 就地清洗已经使用了一段时间 但 A7 #
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