利用光刻机挡板优化mpw光罩布局 optimize mpw mask layout by blind board.pdfVIP

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2017-08-12 发布于上海
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利用光刻机挡板优化mpw光罩布局 optimize mpw mask layout by blind board.pdf

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利用光刻机挡板优化mpw光罩布局 optimize mpw mask layout by blind board

第ll卷，第4期电子与封装总第96期 V01．11．No．4 2011年4月 ELECTRONICSPACKAGING 蕞．童、_芝’每鹰f毒√童，每砖利用光刻机挡板优化MPW光罩布局文燕 (深圳方正微电子有限公司，广东深圳，518116) 摘要：伴随着国内市场竞争的日趋激烈，常规的MPW(多项目晶圆)布局也不能满足客户的要求，同时也不能最大限度地降低设计公司的研发成本，也不利于国内foundry厂市场的开拓。鉴于此，文章着重提出了利用光刻机挡板把光罩进行区域划分，在不增加流片和满足客户要求的前提下，使光罩得到最大限度的利用，降低了客户的流片费用。通过在15cm片上流片验证，更加突出了此优化光罩布局的方法在研发成本和满足客户要求等方面的优越性，因而这种布局对我国集成电路的发展和新产品的研发工作，特别是对国内中小企业的成长提供了有力的支持，也为foundry 厂赢得市场提供了重要的手段。关键词：光罩；挡板；布局；MPw；划片中图分类号：TN305．7 文献标识码：A MPWMask BlindBoard LayOut optimize by WDIY吼 (而埘咖肋c加Pk加力蛔加纪埘口砌肋，cD．，￡碰，砌睨而硎518l16，国加口) Abstract：W1tllin咖lmoreandmorefiercemarketable MPW donotmectt11eneed competi：tion，nonIlall∞，out not f-0r ofcustomer锄dreduceresearchcosttoa notb即emmarket minim啪，锄d developmentfoundD，．So this diVidemaskintodiffb豫n bliIldboardtomakemaxiIIlal pap盯锄ph勰izeinm)duciI培t0 are舔bylitllo鲫hy 吣eb勰edonn0addedwaferand theneedof itreducesme customer，So customer meeting tape—outcost．By V甜ficationb勰edon6inch h舔也e nle aboutcustomer 协pe-out line，it sup硎硎锣overnomallayout product scientificrcsearchcost锄d itis fbr ofIC蛐dnew rcquirement．SoimportamdeVelopmem prodllct，especially forsmall—and alsoitis for t0