DAD3350半自动切割机操作规范.PDF

DAD3350半自动切割机操作规范 作者：万明春 版本号：2016.03 1、设备名称：DISCO DAD3350半自动切割机 型号：3350 序号： 设备所在位置： 图1. 设备所在位置（ 标示处） 2 、工作原理 图2. 工作原理图 该设备主要工作原理为利用高速旋转的主轴带动刀片高速旋转 （30000r/min ）在待切割样品表面进行预设程序的直线切割，切割时通有高 纯度的切割水对刀片和主轴进行冷却。通过X轴、θ轴、Y轴和Z轴控制样品切 1 / 25 割方向及切割高度，其中X轴负责待切割样品的水平方向传递、θ轴负责待切 割样品的平面旋转角度，Y轴负责刀片进刀方向，Z轴负责切割高度的控制（如 图2所示），同时该设备还配置了触摸式液晶显示器及图形化用户接口，装配 了自动校准、自动对焦、自动检查刀痕宽度等高级影响识别系统，实现对切 割参数及程序的精确设定，并通过加工条件显示画面，对工作状态和设备运 行状态进行同步监控，保障切割完成质量。 3、设备功能和规格指标： （1）设备功能：该设备通过配置不同的切割刀，能够对硅片、陶瓷、玻璃或 难加工材料进行切割加工 （目前配制了可切割硅片、玻璃、石英的切割刀，若有 其他材料片子需要切割请联系工艺工程师详细了解）。最大加工尺寸为Ø8英寸 及其以下不规则样品 （最小加工尺寸为Ø2mm ）。 （2 ）规格指标： 加工物尺寸 （mm ）及厚度（mm ）范围 Ø2~Ø200 、0.1~1.5 配置方式 单主轴 主轴 额定功率 （KW ） 1.8 最大转速 （/min ） 60000 X 轴 进刀速度有效范围 （mm/s ） 0.1-600 Y 轴 最小步进量 （mm ） 0.0001 定位精度 （mm ） 0.003 以内/260 Z 轴 重复定位精度 （mm ） 0.001 标准对应刀片直径 （mm ） Ø58 刀痕宽度 硅片 （µm ） 50~60 玻璃 （µm ） 200~300 4 、设备说明： 该设备为DISCO DAD3350 半自动切割机，附属设备为DISCO DWR1720 水 循环系统，为切割机提供高纯度恒温切割水，实物图如图3 所示，图4 为DAD3350 设备说明。 2 / 25 图3 DWR1720和DAD3350实物图 图4 设备说明 5、开机操作：开机时间约30min ，请提前安排。 （1）打开DAD3350机柜背面墙上的排风开关，此时排风指示灯会亮起（红色）。 注意电源指示灯为一直打开的 （绿色）。如图5所示。 3 / 25