扩散炉智能控制系统的设计和应用 design and application of fritting furnaces intelligence control system.pdfVIP

ELECTRICDRIVE2008V01．38No．1 电气传动 2008年第38卷第1期 扩散炉智能控制系统的设计和应用 刘艳，张天开，于春风，罗贤东 (青岛理工大学计算机工程学院，山东省青岛266033) 摘要：针对传统的扩散炉控制系统的温度控制精度、生产工艺控制能力等较低的现状，提出了一种以 PLC为核心的扩散炉智能控制系统。该系统将模糊控制算法引入传统的扩散炉控制系统，利用模糊控制规 则自适应地在线对量化因子进行修改。应用结果表明：该系统有效地实现了对多工位扩散炉温度工艺曲线和 辅助工艺的自动控制，提高了温度控制精度以及工作效率。 关键词：PLC；温度控制；模糊控制；扩散炉 中图分类号：TP273 文献标识码：A 7 and of FurnaceS Control DesignApplication IntelligenceSystem Fritting LIUYan，ZHANGTian—kai，YU Xian—dong Chun—feng，LU0 Province，China) (ComputerEngineeringInstitute，QingdaoPolytechnicUniversity，Qingdao266033，Shandong tothelower conditionthatthe control andthecraftcon— Abstract：Accordingpresent temperatureaccuracy trol ofthetraditionalfurnace，a furnace’S control which ability fritting fritting intelligencetemperaturesystem usedPLCasitscenterwas control introduceda used control presented．Thesystem fuzzyalgorithm，itfuzzy rulesto itselftovariable showsthatthe canre— adapt parametersautomatically．Thepracticaloperation system alizethe controlof furnacesandalsothecontrolofthe furnace’S temperaturemulti—workplatsfritting fritting thismethodhasexcellentand functions，thissystemby qualityefficiency． supplementary furnace Keywords：PLC；temperaturecontrol；fuzzycontrol；fritting 在半导体器材生产企业中，扩散炉是一种关 控制时，需要配置不同的控制参数。另外，在某个 键的大型专用设备，需要操作人员根据工艺要求 扩散炉完成扩散工艺操作以后，加热炉体要自动 手动调