空气中介质阻挡大气压辉光放电特性的研究 study on the discharge characteristics of atmospheric pressure glow discharge in air.pdfVIP

第42卷第2期 高压圣譬 V01．42No．2 2006年4月 Apparatus 。105‘ HighVoltage Apr．2006 文章编号：1001—1609(2006)02—0105—04 空气中介质阻挡大气压辉光放电特性的研究 方 志1，一， 王 辉2， 邱毓昌2 onthe Characteristicsof PressureGlow inAir Study Discharge Atmospheric Discharge FANG Zhil”，WANG Hui2，QIUYu—chan92 of of ofElectrical (1．School 210009，China；2．StateLaboratory Automation，NamingUniversityTechnology，Naming key amdPower Insulation 710049，China) Equipment，Xi’anJiaotongUniversity，Xi’an 摘要：采用筛网电极和聚对苯二甲酸乙二醇脂(PET)薄膜作子体已成功地应用于臭氧合成、CO：激光器、准分子 为阻挡介质的介质阻挡放电(DBD)结构在空气中产生大气光源和废气处理等工业应用领域。DBD用于材料表 压辉光放电(APGD)。通过测量空气中APGD的电气特性和 面改性和薄膜沉积等方面的研究工作在国际上也已 发光强度空间的分布特性，比较了它们与丝状DBD的区别： 广泛地开展起来[1_引。但是．DBD在大气压下一般表 通过研究APGD的放电特性．分析了空气中APGD的放电机 现为细丝状流注放电的形式．在其放电空间内存在大 理。实验结果与分析表明．采用该电极结构可以在空气中产 量的随机分布的具有高能量的放电电流细丝．这使得 生APGD．空气中APGD的放电特性与丝状DBD具有明显的 用其进行材料表面改性时．难于对材料表面进行均匀 区别．筛网电极起到了在气隙击穿前产生电晕放电对驻极体 处理且易灼伤材料。限制了其工业应用前景…。 阻挡介质充电的作用。 关键词：介质阻挡放电(DBD)；大气压辉光放电(APGD)； 文『5—71研究表明。丝状放电并不是DBD在大气 发光特性：驻极体 压下的唯一表现形式。在满足一定的条件下．大气压 中图分类号：TM213 文献标识码：A 下DBD也可以表现为均匀、稳定的无细丝出现的放 Abstract：The 电形式．称为大气压辉光放电 (APGD)。与丝状 pressureglowdischarge(APGD) atmospheric in air themeshelectrodes is generatedatmosphericusing DBD相比．APGD具有更为广阔的应用前景，尤其