有哪些信誉好的足球投注网站- 1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
晶圆厂节能改造 energy efficiency renovation of fab
2008年12月 洁净与空调技术cC＆Ac 第4期
品网厂节能改造
北京世源希达工程技术公司 苏钢民靳景旗刘碉张利群
摘 要 以某6英寸晶圆厂节能改造工程为例，详细介绍了热回收装置、变频器和7r5一体化节能灯在节能
方面的应用及相应的节能计算，并列举了节能改造中常用的技术措施。
关键词 热回收；节能；变频器；晶圆厂
RenovationofFab
EnergyEfficiency
Su Yueand
Gangmin，JinJingqi，Liu ZhangLiqun
establish—
AbstractDuetothewafer andthe toambientenvironment．the
consumptionpollution
factory’Shugeenergy
of a to
mentofthe wafbr is attenticm．Thethisidearis
receiving purpose findingway
green productionplant increasing
reconstruction Heat
reduce and cases，thissectionintroduces
consumptionprotectenvironment．Combiningproject
energy
of
T5 andthe
recovery，Frequencyconverters，energy·savingapplicationintegrationenergy—savinglamps energy-saving
liststhe usedtechnicalmeasuresin reconstruction．
calculation，andcommonly energy-saving
Heat converters；Fab
Keywordsrecovery；Energyefficiency；Frequency
0 引言 1 能源消耗分析
通常一座晶圆厂的能源消耗量相当于10000户 对北京世源希达工程技术公司近年来承接的几
家庭的能耗总和，每年的能源消耗高达2500万美个晶圆厂能耗初步统计见表1，几个工厂的设计冷
RT／m2—0．6 k、Ⅳ／m2—2．10kW／
元，能源成本高昂。我们讨论节约能源消耗的问题 量为0．29 RT，m2(1．02
kW／m2．0．42kW／m2。
不只是为了节约能源、减少运行费用，更为重要的 m2)，单位电耗为0．22
是节约能量消耗就是减少污染物——温室气体、
SO。、NO。的排放量，节能
您可能关注的文档
- 金风1.5 mw风力发电机组dp总线系统故障分析 fault analysis on dp bus system of jinfeng 1.5 mw wind generating sets.pdf
- 金风s50750型风力发电机组的失速特性分析 the stall characteristic analysis on the type of jinfeng s50750 wind power generators set.pdf
- 金华电业局数据存储整合方案.pdf
- 金鸡滩水电厂2号机组异常运行分析及处理 analysis and treatment on abnormal operation of no.2 unit in jinjitan hydropower plant.pdf
- 金鸡滩水利枢纽砂石加工系统设计施工及运行管理 engineering design and operation management of aggregate processing system at jinjitan hydro project.pdf
- 金卤灯电参数智能测试与分析系统的研究.pdf
- 金卤灯电参数智能测试与分析系统的研究 study on the intelligent test and analysis system of electric parameters for metal halide lamp.pdf
- 金卤灯汞蒸汽压的光谱学测定 determination of mercury vapor pressure in a metal halide lamp by spectroscopic method.pdf
- 金卤灯电子镇流器分段线性控制策略的研究 study on control strategy for electronic ballast based on piecewise linear model of metal halide lamp.pdf
- 金南智能变电站自动化系统关键技术和问题分析 key technologies and problem analysis on jinnan substation automation system.pdf
- 近期电煤供需偏紧的原因纷析 analysis of the origins of the recent tight supply situation of the electricity coal market.pdf
- 聚吡咯纳米线的电化学可控性生成与表征 electrodepositon and characterization of designable ppy nanowires.pdf
- 开关磁阻电动机流场分析及风摩损耗计算 flow simulation of switched reluctance motor and aerodynamic losses calculation.pdf
- 开关设备永磁机构始动安匝的研究 research on initiating ampere-winding of switchgear's permanent magnetic actuator.pdf
- 开关柜局部放电暂态对地电压的分布特性研究 research of transient earth voltage distribution characteristics by partial discharge in switchgears.pdf
- 客户导向的全流程客户满意度评价的研究与实践 the research and practice of customer satisfaction evaluation of customer-oriented to the whole process.pdf
- 空气条件下介质阻挡放电影响因素的研究 study on influential factors of dielectric barrier discharge in air.pdf
- 空气透平试验台风源能力计算 the calculation of air supply system for air turbine test facility.pdf
- 空气相对湿度对紫外检测过程的影响 impact of relative air humidity on uv detection process.pdf
- 空气泄漏密封试验的探讨 disussion on the leak-tightness test.pdf
文档评论（0）