基于虚拟仪器的软磁薄膜磁滞回线测试仪 a virtual instrument for the measurement of hysteresis loop of thin film.pdfVIP

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基于虚拟仪器的软磁薄膜磁滞回线测试仪 a virtual instrument for the measurement of hysteresis loop of thin film

工艺·技术·应用 基于虚拟仪器的软磁薄膜磁滞回线测试仪 赵文多,钟智勇,于 淼,张怀武 (电子科技大学微电子与固体电子学院,四川成都 610054 ) 摘 要:开发了基于法拉第电磁感应定律的软磁薄膜磁滞回线测试系统,论述了这种系统的原理及硬件和 软件的实现。该测试仪采用 NI 公司的 LabVIEW 软件、ADI 公司的 ADuC842 单片机、直接数字频率合成(DDS )、 系统误差、随机误差自校正等技术。该系统具有体积小、成本低、精度高、速度快、智能化程度高等特点。 关键词:软磁薄膜;磁滞回线;虚拟仪器;单片机 中图分类号:TM936.3 文献标识码:B 文章编号:1001-3830(2006)04-0046-03 A Virtual Instrument for the Measurement of Hysteresis Loop of Thin Film ZHAO Wen-duo, ZHONG Zhi-yong, YU Miao, ZHANG Huai-wu Institute of Micro-Electronics and Solid-Electronics, University of Electronic Science and Technology, Chengdu 610054, China Abstract :In this paper, a hysteresis loop measurement system for soft magnetic thin film based on Faradays law of electromagnetic induction is put forward, and the principle, hardware and software realization of the system are also described. By using LabVIEW of NI Corporation, microcontroller ADuC842 of ADI Inc, direct digital synthesis (DDS), system and random error self-calibration, the hysteresis loop of soft magnetic thin film is easily measured. The system is characterized by small cubage, low cost, high accuracy and intelligence. Key words: soft magnetic thin film; hysteresis loop; virtual instrument; microcontroller 高,给薄膜材料的研发、生产带来诸多不利,急需 1 引言 低成本、高性能、专门化的测试仪器。 软磁薄膜是构成现代微型/集成电子器件的重 针对以上现状,我们设计制作了基于法拉第电 要材料[1],而磁滞回线完整地记录了软磁薄膜材料 磁感应定律的软磁薄膜磁滞回线测试仪。该测试仪 的响应对激励的滞后性和非线性,是软磁薄膜材料 适用于测试矫顽力小于 1.6kA/m(20Oe)的软磁薄膜 交流磁性的集中反映,对软磁薄膜材料磁性的测量 材料,以满足磁性薄膜材料的研发及生产的需求。 应该以磁滞回线的测量为基础。磁滞回线中蕴含着 2 测试原理与系统构成 大量尚未被充分认识的、对软磁薄膜

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