编码器轴系晃动对测角精度影响分析.pdfVIP

第 38卷 第 4期 光 学 仪 器 Vol. 38 No. 4 ， 2016年 8 月 OPTICAL INSTRUMENTS August , 2016 文章编号 ：1005-5630(2016)04-0297-06 编码器轴系晃动对测角精度影响分析 曹艳波，艾 华 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉 林 长 春 130033) 摘要：光电轴角编码器作为一种精密测角传感器，其测角精度受到多种因素的影响，其中轴系晃 动是影响其精度的主要因素之一。为了研究编码器轴系晃动的规律，利用多种检测方法对轴系 晃动进行检测，利用傅里叶谐波数学模型对测量结果进行分析，并结合编码器测角精度检测结 果，发现测角精度与轴系晃动的低频谐波之间存在固定的函数关系，采用这种关系可以补偿编 码器的测角误差。利用这种方法可以在编码器内部或在线的方式进行实时误差补偿，从而达到 提高编码器测角精度的目的。这对相关仪器的测量精度的提高起到一定参考意义。 关键词 ：光电轴角编码器；傅里叶谐波分析；轴系晃动；误差补偿；精度检测 中图分类号：TN 216 文献标志码：A doi : 10. 3969/j. issn. 1005-5630. 2016. 04. 004 Impact analysis of the spindle rotation error onto the angular measurement precision of photoelectric encoders C A O Y a n b o H u a (Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Science,Changchun 130033,China) Abstract The ： photoelectric shaft angular encoder works as a kind of precise angle-measuring sensor, the precision of which has suffered from several kinds of factors, and the spindle rotation error is one of the main factors. In order to research the regularity of the spindle rotation error in the encoder, we adopted several different calibration methods to test the error, and then analyzed the testing results with Fourier harmonic mathematic model, in combination with the angle-measuring precision calibration results. We found that the low- order harmonic components in the spindle rotation error was related with the angle-measuring error into constant functional relation, by whi