真空玻璃干燥器安装与使用须知.pdf

真空玻璃乾燥器安裝與使用須知  目的   為了避免氧化造成的退化，所有 multi‐layer X‐ray mirrors 與X‐ray filters 一律 放置於真空玻璃乾燥器，同時也使用於 pulsed  laser  deposition的 target 與 substrate存放。此外也提供給有需要將靶材於兩區移動的使用者有個可攜帶式的 真空保存環境。    真空玻璃乾燥器介紹  圖一為真空玻璃乾燥器 整個模組，包含了玻璃皿、玻 璃活栓、連接軟管、壓力計以 及小型乾式抽氣幫浦。中大區 313A 與原分所區 223 分別配 置 2 組真空玻璃乾燥器，一組 做為固定存放物品用，另一組 則是讓使用者可於兩區之間 移動用。    圖一 真空玻璃乾燥器安裝  本實驗室所使用的玻璃乾燥器其玻璃蓋 上有一藍色塑膠蓋，當塑膠蓋與上蓋轉緊後， 中間則插入玻璃活栓   (如圖二所示) ，在塑膠蓋 與玻璃上蓋之間有一透明橡膠來做為密封 用，非另一種是玻璃蓋與玻璃活栓一體成形的 設計。經試驗發現透明橡膠雖有達到密封的作 用，但可達的真空度只有約 50 torr 左右而且 無法使玻璃乾燥器的真空度維持夠久  (約 3~4 小時即回氣到大氣壓力) ，因此安裝真空玻璃 圖二 乾燥器時需配合以下三項動作來使真空壓力 夠低並可以讓真空維持夠久  (如圖三) 。  1. 以真空AB膠將藍色塑膠蓋與玻璃活栓接合處密封。   2. 將藍色塑膠蓋與玻璃蓋的接合縫隙處整圈噴灑High Vacuum Leak Sealant 來幫 助密封。  3. 在玻璃蓋的邊緣塗抹微量的 Vacuum Grease使回氣率降低。  圖三 經上述3個步驟處理過的真空玻璃乾燥器，經測試真空壓力可抽至約 1 torr 左右  (接近小型真空幫浦的終端壓力值) ，而且回氣率大約是一星期後從1 torr 上 升至20 torr 左右。       完成上述步驟後，即可將玻璃活栓接上抽氣的管線。在此先介紹整個抽氣管 路的連接，如圖四所示，首先小型抽氣幫浦的抽氣端先接上 NW16 Tee ，NW16 Tee 的另兩端分別接上 up‐to‐air valve 與快拆接頭的轉接管，快拆接頭之後再接抽氣 閥門，然後連接至玻璃活栓的軟管，而在軟管中間再裝偵測壓力用的壓力計。要 特別提醒的是將軟管與玻璃活栓連接時，由於玻璃活栓已用AB膠固定，要特別 小心勿在連接時造成玻璃活栓斷裂  (如圖五) 。      圖五