Mechanics of Microsystems dica.polimi.it（微系统力学 dica.polimi.it）.pdf

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2017-08-06 发布于浙江
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Mechanics of Microsystems dica.polimi.it（微系统力学 dica.polimi.it）

Mechanics of Microsystems Alberto Corigliano DEPARTMENT OF CIVIL AND ENVIRONMENTAL ENGINEERING www.mems.polimi.it Acknowledgements 2 Faculty Raffaele Ardito, Claudia Comi, Aldo Ghisi, Attilio Frangi, Stefano Mariani PhDs + Others Mehrdad Bagherinia, Leonardo Baldasarre, Emanuele Bertarelli, Fabrizio Cacchione, Federica Confalonieri, Massimiliano Cremonesi, Martino Dossi, Giacomo Gafforelli, Biagio De Masi, Valentina Zega Other groups of Politecnico di Milano Departments: DCMIC: Chemistry, Materials and Materials Engineering DEIB: Electronics, Information Tech. and Biotechnologies MTM: Mathematics MEC: Mechanics Alberto Corigliano – Polimi November 24, 2014 Acknowledgements 3 Funds from Fondazione Cariplo Regional MIUR National EU projects European Patent-DfMM Go4Time Lab4MEMS http://www.lab4mems.upb.ro/ STMicroelectronics Industry Progetto R. Rocca Polimi-MIT Alberto Corigliano – Polimi November 24, 2014 4 Outline Part I: microsystems Part II: examples resonant accelerometers, energy harvester Part III: mechanical characterization at the micro scale Part IV: modelling and simulation Part V: spontaneous adhesion or stiction Alberto Corigliano – Polimi November 24, 2014 Part I. Microsystems