燃烧-水洗废气处理系统 - centrotherm clean solutions.PDF

CT-BW 燃烧-水洗 废气处理系统 概述 现今，各行各业的制造工艺推层出新，许多工艺气体具有高腐 蚀性且气流量不断增加。因此，centrotherm clean solutions 也一直不断地提升相应的废气处理技术。 CT-BW具备许多优势。它对沉积、蚀刻、外延等工艺所产生 的各种废气(特别是全氟碳化物PFC)具有高处理效率，同时能 够高效地处理燃烧后的各种固化和气化副产物。 即使在苛刻的工艺条件下，CT-BW仍具有高可靠性并能同时 节省运行成本。燃烧头、燃烧腔、水洗腔、废气入口和冷却装 置等各个功能装置是可分离的，因此我们可以针对您不同的应 用来灵活安装各种功能装置。我们根据您的需求来定制您的系 统配置，进而优化该系统的维护间隔及运行时间。 应用  沉积工艺  蚀刻工艺  外延工艺 行业  半导体  光伏  LED  学府和研究机构 流程示意图 1. 废气进口 2. 旁路 3. 燃烧头 4. 燃烧腔 5. 水箱 6. 循环水喷嘴 7. 水洗腔 8. 拉西环 9. 过滤器 10. 清水进口 11. 净化气体出口 12. 循环水泵 –燃烧腔 13. 热交换器 14. 加酸/碱泵 15. 酸/碱液桶 16. 防漏托盘 17. 循环水泵 –水洗腔 18. 废水排放泵 特点和优势  高达99.99%的废气处理效率 (DRE)  大于98%的运行时间，因此维护成本低  高达3,000slm的废气总处理量  高达6个独立的废气进口  针对您的工艺要求来定制系统功能，包含:  上至下燃烧头设计，降低燃烧头的阻塞  机械活塞式废气进口自动清洁装置，增长维护间隔时间  抗腐蚀燃烧盘  可自动切换控制的燃烧头性能，降低运行成本  燃烧腔水幕，避免腐蚀和阻塞问题  经优化的内部设计，提高维护的简易度且速度  一个电控柜可连接高达4个平行的CT-BW模块  定制的备份(Back-up)配置  模块间彼此隔离  每