以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式薄膜体声波.PDF

年第 期( )卷 １８７２ ２０１２ １４ ４３ 以四面体非晶碳为布拉格反射栅高声阻抗材料的固贴式 薄膜体声波谐振器性能仿真分析∗ , , , , , , 陆晓欣 朱嘉琦 王 赛 刘 罡 刘远鹏 袁欣薇 霍施宇 　 　 ( , ) 哈尔滨工业大学 复合材料与结构研究所 黑龙江 哈尔滨 １５００８０ : ( ) , . 摘 要 为了提高固贴式薄膜体声波谐振器 晶体的弹性模量最大 弹性波的传播速度最快 但 　 　 SMR , ( ) 、 、 的电学和声学品质 实现四面体非晶碳 taＧC 在体声 CVD沉积的多晶金刚石存在制备温度高 表面粗糙 , , 波器件领域的新应用 建立了以taＧC为布拉格反射栅 沉积面积小等缺点 造成无法与薄膜体声波谐振器其 , 、 高声阻抗材料的SMR模型 利用MathCAD仿真研究 它组成材料的制备工艺兼容 表面磨削抛光加工困难 [ ] １０ . , 布拉格反射栅层数对该 SMR的谐振特性的影响以及 以及不能满足批量生产需要等问题 因此 具有制 ３ / ( )、 ( )、 中 杂化含量和高 低声阻抗层厚度偏差对 备温度低 表面光滑 沉积面积 taＧC s ＜７０℃ R＜０．５nm p a ( ) . [１１Ｇ１３] 的品质因子 值 的影响 结果表明层数的增 ( ) SMR Q 大 均匀沉积面积达直径 ３０．４８cm 等优点 的四面 ３ 加提高了 的品质; 薄膜 杂化含量越高, 体非晶碳( )就成了最优选择. SMR taＧC s taＧC