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第 卷 第 期 半 导 体 学 报 年 月 高栅压下超薄栅 的 噪声 鲍 立 庄奕琪 包军林 李伟华 西安电子科技大学微电子学院宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室西安 摘要在深入研究 工艺 栅厚度 器件 噪声时域特性的基础上提出了该类噪声电子 隧穿栅介质的物理起源并对高栅压下 噪声机理作了深入阐述 结合 和 的研究建立了栅压与 噪声时间参数的物理模型实验结果和模型模拟结果的一致说明了模型的有效性 该研究为边界陷阱动力学 和此类器件可靠性提供了新的研究手段 关键词 深亚微米边界陷阱 器件 中图分类号 文献标识码 文章编号 激活过程 而在陷阱辅助隧穿研究中则广泛接 引言 受载流子交换是一隧穿过程 本文研究中结合了 热激活过程和隧穿过程二者特点使用热激活 隧
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