奈米技术实习第三次报告 南台科技大学 机械工程系 微奈米技术组 四 .DOC

奈米技術實習第三次報告 南台科技大學 機械工程系 微奈米技術組 四技奈米三甲 指導老師:李友竹 組長: 林展永 組員: 邱建維 陳益彬 蔣家棋 周郁凱實習題目: ＰＶＤ金屬鍍膜實習 實習日期: 100年12月6號 換油維修操作 練習換油的機器是抽真空用馬達，連接運轉開關，首先把下面的扭蓋轉開，廢油就會流出，用杯子接住(此時用上方紐蓋控制流量大小)，等油流出量變少時，把上下兩方扭蓋重新轉上，打開開關讓馬達運轉1~2秒，再把上下方扭蓋打開，讓油流出（此舉意在使油流的更乾淨不殘留)。 杯子中的油裡面有黑色漂浮物，表示油已經混有雜質、汙垢，要注意，留下上方一個開口，把下方的扭蓋轉上，把要換的油倒入開口，等油填充至油表中間即可，完成後扭蓋轉上即可完成。 PVD真空鍍膜實驗 緣由 近十多年來，真空離子鍍技術的發展是最快的，它已經成為了當代最先進的表面處理方法之一。其原理是在真空條件下，採用低電壓、大電流的電弧放電技術，利用氣體放電使靶材蒸發並使被蒸發物質電離，在電場的作用下，使被蒸發物質或其反應產物沉積在工件上。 真空鍍膜設備為半導體、平面顯示器、工具/五金、光學元件等產品生產所必備之設備，上述這些產品為我國產業發展及經濟成長之命脈所在， PVD拋光鍍膜技術（物理氣相沉積）承襲了化學氣相沉積提高表面性能的長處並克服了化學氣相沉積高溫易使材料變形等缺點。因此PVD過程溫度很低，故產生畸變的風險也大大減少小，從而大大了材料表面的完整性，提高了其使用性能，使其PVD塗層的硬度更高，也更耐磨，不易脫落。 PVD物理氣相沉積 1.真空蒸鍍-Vacuum Evaporation，2.濺射法-Sputtering ，3.離子鍍著-Ion Plating， 而我們這次的實驗是用真空蒸鍍-Vacuum Evaporation是指在真空條件下，用物理的方法使材料沉積在被鍍工件上的薄膜製備技術。其原理是在真空條件下，採用低電壓、大電流的電弧放電技術，使被蒸發物質或其反應產物沉積在 先將乾淨的試片，做上自己的組員記號與背面貼上膠帶(試片越乾淨鍍膜效果會更好)將玻璃試片和鍍料一同放入PVD鍍膜機的腔體裡面，下方放入鋁片，然後蓋上腔體，開起馬達將鍍膜機內抽為真空狀態，開始加熱及細抽，過程約60分鐘，之後開啟腔體的閥門，並觀察離子真空計上的數據。腔體底部加熱之後，開啟上方的控制箱，按下開關，並且觀察腔內情況，鎢盅溫度上升至紅色時，表示鈀材表面開始融化，第一次蒸鍍要使靶材融化但不可讓靶材蒸發，待其完全融化將靶材快速蒸發。 實驗結果與討論 我們這組的實驗結果是成功的，因為實驗前試片表面有清潔過使原本殘留物灰塵等東西較少，因為機台本身有點年分了，或多或少都有殘留空氣，且我們的試片在鍍膜機內的位置較好，受到殘留空氣影響較小，所以鍍出來的成品均勻且不會透光。用指甲可把鍍上的金屬模刮掉。 此為被膠帶遮蓋沒有鍍到與沒有遮蓋鍍膜後的對照 2