二氧化硅纳米球对硼酸源扩散形成KL 硅层性能的影响! - 材料导报.PDF

二氧化硅纳米球对硼酸源扩散形成 硅层性能的影响杨楠楠等 二氧化硅纳米球对硼酸源扩散形成 硅层性能的影响 杨楠楠沈鸿烈蒋 晔金 磊李金泽吴文文余双龙杨 艳 南京航空航天大学材料科学与技术学院江苏省能量转换材料与技术重点实验室南京 摘要 为了提高 扩散掺杂层的性能提出了用含有二氧化硅纳米球的硼酸溶液作为硼源对硅片进行扩散的方法采用扫 描电子显微镜四探针和少子寿命测试等技术研究了 纳米球对硼酸源扩散形成 硅层性能的影响综合分析发现与未添加 纳米球相比扩散后生成的富硼层厚度明显减小由 降低到同时扩散的均匀性由提高到了 此外添加 纳米球进行扩散后 结深有所减小少数载流子寿命明显提高研究结果表明 纳米球可以显著提高液态硼 源扩散掺杂形成 硅层的性能 关键词 硼扩散 纳米球 富硼层 均匀性 少子寿命 中图分类号 文献标识码