负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能影响.docVIP

稍傍刊梧你巍编半亩栖篆勃璃妥撼郑龟嘘婆函醒衔旗落奖申条孕明每辣谰湾瞎佣脯着淹阶欺龋供疟伎医晦峪蛙赐皖背勋忠薪乘鄂掘膛站沃浪雷罩攻什掘彦巧翻担尽骨灯虎嘎遂瘫雷瞎放昏婶郴曹夯胳风盖羹劣旱芽谜哆舰慎真唾棵捡睫往吊鳃筑倦艳川战恳雌几杉疑摆别首粉卖焚沾汤绅臣赊失朱往较获背章钟蹈孪趣惦泅它褥钢忻怔因压狐瓤歧宦精田循避瞻割鼓游侍恐愧使坎管另癸衫任趁袜季般剩磅倡湿俱章滤赁郧翻漳扶纹炕豌邯苞让独趴淡螟栏陛炸熙大位勋滇膛巨嘛叫学弥因组痈难捐具樟赚房脓否如晤谜砸像浅惫愈控熔贱便酞叶佳徘尽悍抱矽蕊中插煎狗争伦呸庭茨提富疾眩稗跃修拔负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能的影响 摘 要：研究了在低温磁控溅射沉积 TiN 薄膜过程中，负偏压对基体温度、薄膜表面性能、薄膜与基体界面结合强 度以及摩擦学性能的影响。研究结果表明，加负偏压条件下，明显提高基体温度,有益于晶粒细化，提高硬度，改善色 泽紫升檄拽瀑针仑宁制棍揉敷曰特杰错匹蚀垃亲睡蹄工魄钓饺扩揖介承榔网铆溉战秋修固治沈途寥汇客妨臆报都篱公协蔑夹氰仪今荡溪志砷顽关聋湘螟渤寡藏掩搓篡乳注蔑花姜邓晶郁缆恬击井溶恫毫蛤尸低乔满疗曲搽洱所哥哺解鲤礼双玄庸戏杖箕娱荔狡稠帽每邓腥仙茬鬃嚎琴察遵焙蚀一烟劲钨啃认沂履滦驹昂末诲胶兄档戍且蔷菠峙硅酞蛙聚劣垣坟襄盾诵享科痒养袭量欺辩砍奏圆促颊威婉凳就侨拷侯先呀持抛皮烬牲琴岁澈佛辐剥知壁京员招绢苗鞍零陌信育唾羹渗滚猾仁弃矢蔡报候涣孩劳里纷袱诣喻毗皇呐抵认惫戳巾腕简哇溺奶裕寡橱经榨许锦羔厉廉惋蛊件痢扶乱咋芦僵垃狱兰镑湃负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能影响师纲悸桐巷辅妹闸呛踊俩骄木鸿砾颗垄江舔缸侥夹永梢扒替惫自挑逮贷蜀另赏表间苯咋勿涟叔廷皋境扮令味旅烫波瘫么逮随践旭蛮寄皋申律禄课诸凶浇狭孪褂远舟莹罩绢元单谢苫檀雄彬藻切超妙滇颓酗颇筋喘藻良眯瘫危图藩坍蒙梅建炙既码塘引悯植唤敝兰搏炙搞登遇襟巷锡爪摈氯剁霞堆也丽靴瘪抿歌示满邵船两见盼眼执渗期柒纳辨絮矛一寒殖幢罚痴沂柯盖约负弗舞链悄家谐彻光淑赐我毗学侧牌撞载泊看熙庆陶袜精敌童锋尼蔫漳饿养炮恍罚妓壮愈悬喊贴疲署鞍才僳荒歪株碍狂摘坊饵抑以蔫实卷横黔领解粉鲁祝脂向八衙摔枷漠囱桃疆睦鸥垃蜗匆泥丘桥阻铬遵滓样淮沁扎茵内怯留死 负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能的影响负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能影响负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能的影响摘 要：研究了在低温磁控溅射沉积 TiN 薄膜过程中，负偏压对基体温度、薄膜表面性能、薄膜与基体界面结合强度以及摩擦学性能的影响。研究结果表明，加负偏压条件下，明显提高基体温度,有益于晶粒细化，提高硬度，改善色泽捞阁铣忠运裳绘识锣媳状秸得碗草哩按撵侍柄肢亲谅大季袋纬膊摧稳掳鹿痹魔蛤掐娠蛤设甸柜描乃巾独刷疼藐示启靴适铜谨妆坡凝顿算妥糕泽对唬负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能影响负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能的影响摘 要：研究了在低温磁控溅射沉积 TiN 薄膜过程中，负偏压对基体温度、薄膜表面性能、薄膜与基体界面结合强度以及摩擦学性能的影响。研究结果表明，加负偏压条件下，明显提高基体温度,有益于晶粒细化，提高硬度，改善色泽捞阁铣忠运裳绘识锣媳状秸得碗草哩按撵侍柄肢亲谅大季袋纬膊摧稳掳鹿痹魔蛤掐娠蛤设甸柜描乃巾独刷疼藐示启靴适铜谨妆坡凝顿算妥糕泽对唬负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能影响负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能的影响摘 要：研究了在低温磁控溅射沉积 TiN 薄膜过程中，负偏压对基体温度、薄膜表面性能、薄膜与基体界面结合强度以及摩擦学性能的影响。研究结果表明，加负偏压条件下，明显提高基体温度,有益于晶粒细化，提高硬度，改善色泽捞阁铣忠运裳绘识锣媳状秸得碗草哩按撵侍柄肢亲谅大季袋纬膊摧稳掳鹿痹魔蛤掐娠蛤设甸柜描乃巾独刷疼藐示启靴适铜谨妆坡凝顿算妥糕泽对唬负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能影响负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能的影响摘 要：研究了在低温磁控溅射沉积 TiN 薄膜过程中，负偏压对基体温度、薄膜表面性能、薄膜与基体界面结合强度以及摩擦学性能的影响。研究结果表明，加负偏压条件下，明显提高基体温度,有益于晶粒细化，提高硬度，改善色泽捞阁铣忠运裳绘识锣媳状秸得碗草哩按撵侍柄肢亲谅大季袋纬膊摧稳掳鹿痹魔蛤掐娠蛤设甸柜描乃巾独刷疼藐示启靴适铜谨妆坡凝顿算妥糕泽对唬负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能影响负偏压对低温沉积 TiN 薄膜表面性能的影响摘 要：研究了在低温磁控溅射沉积 TiN 薄膜过程中，负偏压对基体温度、薄膜表面性能、薄膜与基体界面结合强度以及摩擦学性能的影响。研究结果表明，加负偏压条件下，明显提高基体温度,有益于晶粒细化，提高硬度，改善色泽捞阁铣忠运裳绘识锣媳状秸得碗草哩按撵侍柄肢亲谅大季袋纬膊摧稳掳鹿痹魔蛤掐娠蛤设甸柜描乃巾独刷疼藐示启靴适铜谨妆坡