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金属表面粗糙度对接触热阻之影响性研究
中國機械工程學會第二十三屆全國學術研討會論文集 崑山科技大學 台南、永康 中華民國九十五年十一月二十四日、二十五日 論文編號: A8-073 金屬表面粗糙度對接觸熱阻之影響性研究 1 2 3 2 2 4 周煥銘 、陳家寬 、胡祥光 、王敬期 、謝幸幟 、陳長仁 1 崑山科技大學機械工程學系教授 2 崑山科技大學機械工程系研究生 3 崑山科技大學機械工程學系副教授 4 崑山科技大學機械工程學系助理教授 國科會計畫編號: NSC 94-2212-E-168-016 性質研究,發現壓力越高對接觸的熱傳係數越高,同 摘要 年,Abelson 與Abdou 【2 】,製作一台針對鈹與不銹 本研究採用自行設計之接觸熱阻試驗機,並且分 鋼之熱傳試驗機台,利用內部真空之壓力來設計,探 別採用單一荷重及連續荷重之操作條件,研究銅試片 討兩材料接觸所發生的熱傳性質,研究也發現壓力高 之表面粗糙度、垂直負荷及加熱溫度等對接觸熱阻之 其熱傳係數也高。在1997 年,Parihar 及 Wright Ne 影響。根據接觸熱阻及其他實驗結果可發現,接觸熱 【18】,量測彈性體的接觸熱阻,發展一套量測試驗 阻值隨表面粗糙度之增加而增加,隨垂直負荷之增加 機,研究得知,彈性體會因為壓力增加其接觸熱阻值 而成比例的些微下降。並且,加熱溫度越高時其接觸 因而下降,同時精確算出試片上方及下方兩個接觸面 熱阻值越小。本論文之實驗數據及研究成果可供相關 的熱阻值,進而將溫度及傳熱量比對,實驗值也跟理 產業日後設計及研發的參考依據。 論值呼應。而 1998 年,Wolff 及 Schneiger 【3 】,為 了探討鋼表面拋光的影響,也自行製作了一套實驗設 關鍵字 :接觸熱阻、表面粗糙度、單一荷重、連續 備,其試驗數據採用電腦擷取,並發現只要壓力增 荷重 大,各量測點溫度就會上升。隔年,Zhao 及 Phelan 1. 前言 【9 】,在做玻璃薄膜試驗,使用一台接觸熱阻試驗 近年來電子科技發達,使得半導體產業蓬勃發 機,壓力是由上下兩邊同時施壓,此數值代入LabView 展。因銅的導電性佳、電阻小、導熱性也優於鋁,因 分析,其實驗結果:發現熱傳係數隨溫度升高及壓力 此半導體製程也從原本的鋁製程而被銅
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