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洁净级别
大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值
ISO等级序数 (pc/m3空气浓度限值按3.2中的公式计算)
(N)
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
ISO Class 1 10 2
ISO Class 2 100 24 10 4
ISO Class 3 1 000 237 102 35 8
ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83
ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29
1 000
ISO Class 6 237 000 102 000 35 200 8 320 293
000
ISO Class 7 352 000 83 200 2 930
ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300
35 200
ISO Class 9 8 320 000 293 000
000
注:由于涉及测量过程的不确定性,帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。
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2
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