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工艺参数偏差对纳米压印a-si 太阳电池光学性质的影响.pdfVIP

工艺参数偏差对纳米压印a-si 太阳电池光学性质的影响.pdf

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    人工晶体学报第卷第期年月工艺参数偏差对纳米压印太阳电池光学性质的影响陆晓东张鹏周涛赵洋李媛吕航渤海大学新能源学院锦州摘要先基于实际工艺条件和频域有限差分法优化了纳米压印三角带型太阳电池织构结构然后重点探讨了有源层和铝背反镜厚度偏差增透膜折射率和厚度偏差及织构结构几何尺寸偏差对太阳电池光电流密度的影响研究表明模受有源层和铝背反镜厚度偏差增透膜折射率和厚度偏差及织构结构几何尺寸偏差的影响较小平均光电流密度的变化主要受模光电流随工艺偏差的影响增透膜和压印模板制备过程中有效控制工艺参数的偏离是获得最优太

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