Cu掺杂ZnO薄膜的制备及其光谱特性.pdfVIP

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2017-07-25 发布于浙江
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Cu掺杂ZnO薄膜的制备及其光谱特性

40 5 人工晶体学报第卷第期 Vol． 40 No． 5 2011 10 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS October ，2011 年月 Cu 掺杂ZnO 薄膜的制备及其光谱特性，，，，邱春霞阮永丰张灵翠刘雅丽王帅 ( ， 300072) 天津大学理学院天津 : - (ITO) Cu ∶ ZnO 。 X 摘要采用溶胶凝胶法在铟锡氧化物导电玻璃基底上制备了不同掺杂浓度的薄膜采用射线衍，。射仪和扫描电子显微镜分析了薄膜样品的晶相结构和形貌用荧光光谱仪测量了薄膜样品的光致发光谱结果表 :Cu∶ ZnO ， c ，明薄膜均为六角纤锌矿结构呈轴择优取向且因压应力的存在使其晶格常数略小于未掺杂薄膜样品 ; (PL) 4 14 nm 、438 nm 的晶格常数低温和高温退火处理的薄膜样品的光致发光谱中分别观察到的蓝光双发射峰和 510 nm 。 V Zn ， V -Zn 。左右的绿光发射峰蓝光发射峰与样品中的和有关而绿光发射峰与样品中的有关 Zn i O i : - ;Zn Cu O ; ; 关键词溶胶凝胶法 1-x x 薄膜光致发光谱缺陷能级中图分类号:O484 文献标识码:A 文章编号:1000-985X (2011)05-1130-06 Preparation and Spectral Characteristics of Cu Doped ZnO Thin Films QI U Chun-xia ，R UAN Yong -f eng ，ZHANG Ling -cui ，LI U Ya-li ，WANG Shuai (School of Science of Tianjin University ，Tianjin 300072 ，China)