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穿透式电子显微镜Transmission Electron Microscope
Transmission Electron Microscope
穿透式電子顯微鏡
Transmission Electron
Microscope
綱要
電子顯微鏡的起源
TEM之偵測資料
TEM構造
TEM之儀器系統
TEM之解像能
TEM與光學顯微鏡的結構比較
TEM之優缺點
參考圖片
總結
參考資料
Transmission Electron Microscope
電子顯微鏡的起源
電子顯微鏡 (electron microscope)之源起,應溯及電子發
射 (electron scattering)理論的萌起。1987年,J.J.
Thomson發現電子,並使得科學家很快地應用了其特性。
經過一段時間的實驗後,知道電子可以受靜電場或磁場的
作用而聚焦( focused )或折射 ( deflected ) 。陰極射線示波
器 ( cathode-ray oscilloscope )的發展及由此觀念演變而來
的。
1924年,Louis de Broglie發表電子波動說,認為電子束
的行為波長與光波一樣,同為波形運動,但其波長較光波
短,並導出物質波之波長公式:
h
p
Transmission Electron Microscope
電子顯微鏡的起源
1926年,E. Schrödinger對於de Broglie的波動理論及 W.
R. Hamilton ( 1830 )的光學理論再做了進一步的研究。
1927年,美國人Davisson 、Germer及英國人Thomson 、
Reid都以實驗證實了 de Broglie的波動理論。
1926年,H. Busch發表了電磁場中電子的軌道特性。發
現磁場會電場對於電子或帶電粒子的作用就像光學透鏡的
作用一樣,具有軸對稱性( axial symmetry ) 。這項發現,
使得 Broglie和Schrodinger兩人的理論有了實際的應用價
值。電磁光學透鏡即由此發展而來。
1931年,E. Ruska和 M. Knoll發表了以純鐵圍繞以線圈做
成磁場的透鏡設計,可以得到強大的磁場以及有效的聚焦
作用。此後即奠定電子顯微鏡磁場透鏡構造的基礎。
1934年,Ruska發表第一部穿透式電子顯微鏡
( transmission electron microscope ) 。
Transmission Electron Microscope
TEM之偵測資料
TEM具有極高的穿透能力及高
解析度。根據電子與物質作用
所產生的訊號, TEM 主要偵測
的資料可分為三種:
1. 擷取穿透物質的直射電子
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