省钱大作战六吋晶圆厂节能新手法Saving money combat – New .PDFVIP

Personal Data (D) Macronix Proprietary 省錢大作戰六吋晶圓廠節能新手法 Saving money combat –New methods for six-inch fab energy-saving 1 2 3 羅諺聘 羅仁志 楊勝元 1 旺宏電子晶圓一廠廠務部電力空調課JeffLo@.tw 2.旺宏電子晶圓一廠廠務部電力空調課MichealLo@.tw 3 旺宏電子晶圓一廠廠務部電力空調課VicYang@.tw 摘要 能性。 地球的天然資源，經歷數百萬年甚至是數億年的 魔鬼往往藏在細節中，拿著放大鏡重新檢視了各 時間演進下，慢慢成為我們現今所使用的各種原料與 個系統的運轉模式，魔鬼一個個的都慢慢現形了，透 能源。在生產的過程中，付出的除了製造成本外，更 過即時用量分析與現場比對，我們發現節能率低的系 是大量的消耗這些原料以及能源，所獲得的代價也包 統，往往是因為落在近年來節能觀念的窠臼，而不願 含了環境的污染與能源耗竭。現今工業對生態影響甚 在沒有增設節能設備的前提下進行節能改善，錯失了 鉅，能源與物料消耗下越來越短缺，整體營運成本只 消滅耗能魔鬼的大好機會。 會不斷的攀高(電價、油價、民生、運輸) ，加上環境 緣起 不斷惡化，氣候變化加劇，終究人類文明發展會造成 依據經濟部能源局2014/08/01 公佈能源管理法第 更多環境的破壞。 8.9.12 條規定，能源用戶(契約用電容量超過八百瓩之 爲了能永續經營，社會企業提倡節能減量，觀點 法人及自然人) ，2015-2019 平均年節電率需達1%以 不再只是單純的成本考量或所謂的社會企業責任，這 上 ，產能因素不得列入節電率計算(節電率計算問題 更是我們全體人民應當面對的責任，要有正確的能源 2-13) ，廠內的節能重擔頓時落在用電大宗廠務設備 使用觀念與養成不浪費的習性，隨手關閉或調節減少 身上，也因此廠務設備節電率需提升至1.5% ，以利 不必要的耗費，皆可對環境以及企業更多正面的助 廠區平均節電率達標，依據這樣的計算方式，本次目 益。現今設置的生產系統、廠房，在設計時均已納入 標將2015 及2016 的節電差異一次補足，共需節電 高效能或是低耗量的架構系統，以符合最高經濟效益 1.2% 。 模式下，維持良率高產出，卻可大幅縮減能源成本的 表 1.節電目標分析 比例，早期建制的廠房，系統架構或是系統均為較無 節能設計的設備，因次我們在原設計的廠房系統中， 找出任何可能被耗費的資源，齊心努力的完成每一項 節約效益。 2.廠區用電及節電分析 關鍵詞: 節能減量、Cost down 、控管 首先，依據我們現有的電力監控類別，可區分為 8 大類用電系統：冰水系統、潔淨室系統、排氣系統、 1.前言