硬碟机相关之mems技术及理论.docVIP

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硬碟相之技及理硬碟一高密度料存置其性零件滑及碟片的作在高精度的需求之下作高速滑在碟片上的行高度若等比率放大可要求一波音以的行高度定的行在地面上因此相衍生的有稀薄效表面粗糙度效分子空滑理的建立滑的表面以程作滑碟片作技滑力分析滑支臂分析高速主等加速用於及相振高速主及承系在高速之下原有以液滑的承面流性的不可忽略泡生及相流的本考改以精密的空承分析以程作其槽滑空承表面之作模式建立分析模建立程建立分子空滑模式建立分析工具建立模表面量技使用有的置的表面量用以建立粗糙度的模式加入分析工具中另也建立一套完善的後理

硬碟機相關之MEMS技術及理論 硬碟機為一高密度資料儲存裝置,其關鍵性零組件為讀寫頭滑塊及碟片的製作。在極高精度的需求之下作高速轉動(5400~20000rpm),讀寫頭滑塊在碟片上的飛行高度為25nm,若等比率放大實可視為:要求一波音747飛機以2.5mm的飛行高度穩定的飛行在地面上。因此相關衍生的問題有(1)稀薄氣體效應、(2)表面粗糙度效應、(3)分子空氣潤滑理論的建立、(4)讀寫頭滑塊的表面設計、(5)以MEMS製程製作讀寫頭滑塊、(6)碟片製作技術、(7)讀寫頭滑塊動力學分析、(8)讀寫頭滑塊支撐懸臂FEM分析、(9)高速主軸設計等問題。 MEMS加速規[1] 用於偵測及補償讀寫頭相

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