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20 1 Vol. 20, No. 1
2005 2 Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays Feb. , 2005
: 100 2 80(2005)
IT O 玻璃光刻工艺的研究
1 1 2 2
张麦丽 , 王秀峰, 牟 强 , 张方辉
( 1. , 12081, Em ail:zhangmaili@ yahoo. com. cn;
2. , 12081)
: IT O , ,
IT O , ,
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RZJ390PG, 5 min; 2 min;
6 min, OLED
: IT O; ; ; ;
: T N2 ; TN305. : A
; U200025 ;
1 引 言
;
20 40
, 2. 3
1
, 2. 4
[ 1~ 3]
,
, ,
,
[ 4, 5] 3 结果与分析
, 3. 1 ITO
[ 6, ]
IT O 0. 2 mm ,
, , [ 10]
[ 8, 9]
Hg I ( 365 nm) ,
, , ,
2 实 验 ,
2. 1
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