干式真空泵的原理特征及其应用.PDFVIP

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2017-07-24 发布于江苏
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干式真空泵的原理特征及其应用

第期真空年月 $### , ’Ljhhi(( ’Ljhhi .OjNPnknQoLPl2ffkMjLdMnP 文章编号!##$%#$$’$###(#%###%#) 干式真空泵的原理特征及其应用 * 杨乃恒东北大学辽宁沈阳 ’ + ###,( 摘要本文介绍了干式真空泵的抽气原理定义和特点及其应用最后简述了干式泵抽除颗粒物质的措施和方法 ! * + - 关键词干式真空泵 ! 中图分类号! 01$ 文献标识码! ./ 2 ;=4=7:45?57?@AB4CD=7EEF 3EF8=6G5?H88957=5@6? % I2JK JLMNOPQ ’ + ###,+ ( RSTUVWXYUWTZ[Z\]WTY\U^ _VWZ^XZ‘ aV\ZX ! + + + Hb?4=7 cP dNMefLfOg dNOfhifMPQ fgMPjMfkO lOmMPMdMnP fOgmngiLPjOnmlgo pLjhhi fhif LPl MdeLffkMjLdMnPeLgO r r lOejgMqOl .NOPqgMOmkoMPdgnlhjOdNOiOdNnldnfhifdNOfLgdMjhkLdOiLdOgMLksMdNlgofhif ! t:Cu@4G?lgopLjhhi fhif 在近年来的高真空系统中由高真空油上实用的干式泵将罗茨泵进行六级串联以后又出 $#v# + + - 扩散泵和作为前级泵的油封式机械泵组成的排气系现罗茨和爪型转子组合起来的无油泵总之相继出 + 统在各工业部门得到了普遍的应用在这样的真空现了多种型式的干式泵主要是为半导体产业使用 + - + 系统中不可避免的要发生油蒸汽的返流使真空容的而且技术先进的真空企业也都有不同产品出售 * - - 器遭到污染而且在真空容器中进行作业所用的工 + ~ 干式真空泵的定义艺气体会在油中溶解工艺过程反应生成的颗粒状 + 干式真空泵很早就出现了但没有明确的定义 + - 副产物也