离轴非球面的计算全息图高精度检测技术黎发志.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ４ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．４ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎ ｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ 　 　 　 ｇ ｇ ２０１１ ４ Ａ ｒ．２０１１ 　 　 　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ ２０１１０４０７０９０８ 　 － － － 离轴非球面的计算全息图高精度检测技术 ， ， １２ １２ １ １ １ １ ， ， ， ， ， 黎发志 罗 霄 赵晶丽 薛栋林 郑立功 张学军 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进 制造技术 １． ， ； ， ） 重点实验室 吉林 长春 中国科学院 研究生院 北京 １３００３３２． １０００３９ ： 、 ， （ ） 摘要 为了实 现 离轴非球面高精度 定位 光 路 对 准及面 形 检 验 提 出 了一种使用 计算全息图 ＣＧＨ 技术 实 现 离轴非球面 。 ， 高精度光学检测的方法 将被 检非球面倾斜 平移 后 作 为轴 上 自由 曲面进 行 ＣＧＨ 补偿 检测 设 计 从 而 减 小 了检 测 光 路 ， 。 ， 的相对 口径和 ＣＧＨ所需 补 偿 像 差 提 高 了 ＣＧＨ 检 测 精 度 使 用 自 行 开 发 的 ＣＧＨ 专 用 设 计 计 算 软 件 设 计 完 成 的 、 、 。 （ ＣＧＨ 同时具有 非 球 面 检 验 检 测 光 路 对 准 被 检 非 球 面 基 准 定 位 等 多 项 功 能 采 用 该 方 法 设 计 设 计 精 度 优 于 ／ ） ／ ， ， ／ 并 制 作 对 面 形 精 度 优 于 的 离 轴 非 球 面进 行 了 检 测 误 差 分 析 表 明 其 检 测 精 度 优 于 １００００ｒｍｓ ＣＧＨ ５０ｒｍｓ λ