设备一:200千伏场发射透射电子显微镜 - 河南省政府采购网.DOCVIP

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附件:1设备名称、技术参数及功能要求 设备名称:激光烧蚀-电感耦合等离子体飞行时间质谱仪 设备用途 工作条件 1 电源:220-240 VAC, 7 kVA, 20 A, 50-60 Hz. 3.2 工作条件及安全性要求符合中国及国际有关标准或规定。1.1 激光系统 ★4.1.1.1 采用Nd:YAG 固体脉冲激光器。输出波长:213nm,样品表面能量密度25J/ cm2,软件实时显示当前能量密度 4.1.1.2 能量输出:能量0-100 %可调,不同能量输出时光斑质量保持稳定。 4.1.1.3 激光脉冲宽度:≤4 ns; 4.1.1.4 脉冲重复频率:1-20 Hz,且可连续或分档软件设置; 4.1.1.5 激光器采用自带水冷系统,不需外接冷水机。 4.1.2 光斑尺寸 4.1.2.1 束斑尺寸:4 μm – 110 μm。 4.1.2.2 不少于13 个尺寸可选,所有光斑具有相同的能量密度。 4.1.2.3 剥蚀坑轮廓清晰底部平坦。 4.1.3 显微观察系统 4.1.3.1 彩色高清晰显微成像系统,光学放大倍率:15 – 60倍,数字放大180-1200倍;光学分辨率2μm 4.1.3.2 配置显微镜同轴和偏轴两个CCD,提供两个独立画面。配有手触式LCD 导航屏幕,视域范围25mmX19mm;屏幕显示与软件同步 4.1.4 照明系统 4.1.4.1 透射、同轴和泛光三种照明方式,高亮度LED 光源照明,亮度0-100%可调,由软件控制 4.1.4.2 配置正交偏光装置,软件控制,提高观察效果 4.1.5 样品室 4.1.5.1 样品室内部空间100X100mm。双体样品室,具有快速wash in/out 时间。适用多种尺寸的样品,包括形状不规则和表面不平整的样品。可提供不同样品室选择。 4.1.5.2 样品室各位置的信号响应均一。 4.1.5.3 X-Y 载物台行程 100mmX100mm; Z 轴行程50mm,步进分辨率1 μm; 4.1.5.4 X-Y 轴移动速1um/s- 50mm/s,软件调速;Z 轴移动速度1um/s-25mm/s,软件调速 4.1.6 气体控制 4.1.6.1 内置气体控制器,软件个控制 bypass, purge,和online 三种气流模式 4.1.6.2 配置高精度氦气载气控制器,可选配氮气流量控制器 4.1.6.3 方便拆装,便于气路的清洁保养;气阀具有自动安全保护功能,防止ICP-MS熄火 4.1.7 软件 4.1.7.1 全新的激光剥蚀进样软件。支持 Windows XP,Windows 7 操作系统。软件显示实时剥蚀过程,显示激光能量密度、频率、载物台位置、载气流量和照明强度等参数 4.1.7.2 具有单点分析、深度分析、多点矩阵、光栅扫描、单线扫描、多线扫描、3D轮廓跟踪扫描、字符扫描和Bezier 曲线扫描功能 4.1.7.3 具有Mapping 功能,可观察到整个样品区域;Mapping 的范围和尺寸可在软件中设置,适合各种尺寸的样品;具有样品导航功能 4.1.7.4 可分组批量编辑剥蚀对象的参数设置 4.1.7.5 实验过程可预先编程,在操作过程中可随时更改扫描顺序和参数。 4.1.7.6 支持从显微镜或扫描电镜等其他设备上嵌入图像 4.1.7.7 软件免费升级 4.1.8 ICP-MS联用 4.1.8.1 支持和市场上所有主流ICP-MS 联机 4.1.8.2 支持LA 和ICP-MS 双向触发,通过软件设置即可进行激光剥蚀自动进样 4.2 ICP-MS 配飞行时间质量分析器 4.2.1 关键指标要求 4.2.1.1 同时对不少于60个元素进行定量分析 4.2.1.2 线性动态范围106,线性偏差保持在20%以内 4.2.1.3 全自动电脑控制分析过程 4.2.1.4 具有与激光烧蚀附件完全匹配的接口,以控制激光烧蚀的进样和分析过程 4.2.2 仪器主要系统单元 4.2.2.1 电脑控制的RF射频发生系统,包括RF电源、阻抗匹配系统、炬管箱和雾化器组件 4.2.2.2 离子采样系统和离子聚焦光学系统 4.2.2.3 真空系统,带有读出和互锁系统,每个锥的后面都带有门阀 4.2.2.4 电脑控制的氩气气流系统 4.2.2.5 带有离子反射腔的直角加速式离子加速器 4.2.2.6 阈值控制式脉冲放大累计离子检测系统 4.2.2.7 通过电脑实现的仪器控制和数据采集系统 4.2.2.8 台式结构的仪器 4.2.2.9 可选的由软件完全控制的自动进样器 4.2.2.10 带有恒温玻璃旋流雾室的同心轴玻璃雾化器 4.2.2.11 工作站系统 4.2.3 仪器操作性能指标 4.2.3.1 质量范围:仪器应能够检测质荷比(m/z)在1-260amu范围内的所有正离子。 ★4.2.

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