日本表面处理技术近期动向第四部分金属钌电镀.pdfVIP

维普资讯 VO1．25 NO．5 【技术专题】 日本表面处理技术近期动向 第四部分 金属钌电镀 嵇永康 ， 木名濑隆 ， 卫中领。， 周延伶 (1．苏州华杰电子有限公司，江苏 苏州 215002；2．日铉 夕，L，7。一于，f (株)高枫技衍七 夕一， 日本 大阪 亍569-0036；3．中国科学院上海微系统与信息技术研究所金属腐蚀与防护技术中心， 上海 200050；4．，f 尹、／株式会社，日本 大垣 亍503—8503) 摘 要：分别介绍了金属钌的物理特性和亚硝基氯化钌镀钌、 钌酸钾镀钌、硫酸钌镀 白色钌和镀黑色钌的工艺规范，氨基磺 1 前言 酸镀 白色钉和氨基磺酸镀黑色钉的工艺规范及各种应用实 钌与白金、铑、钯都同属铂系金属元素。至今，钌 例。指 出了氨基磺酸的加入对镀液的稳定性及涂层性能的提 高所起的作用。比较了钌、铑和钯镀层的性能，并介绍了钌镀 已被广泛应用于工业中，如用作化学催化剂，用于电 层性能的测试方法。说 明了钌 电镀的工业用途 。 子元件、齿科合金、装饰品、文具、医药品…等。添加 关键词：镀钌；氨基磺酸；工艺规范；镀铑；镀钯 碱性金属后的钌合金是具有很高活性的氨合成催化 中图分类号：TG178，TQ153 文献标识码：A 剂；在铂族金属中添加30％-一50％钌的合金，可用作 文章编号：1004—227X(2006J05—0038—04 甲醇燃料电池的催化剂。钌络合物在新型硅系列太 CurrenttrendofsurfacetreatmenttechnicsinJapan． 阳电池中的应用受到了广泛的关注。目前，钌的应用 PartIV~Metallicruthenium electroplating／／jiYong． 领域、范围正处于扩大中，但其每年的使用量仍 比白 kang，KINASETakashi，WEIZhong-ling，ZHOUYah—ling Abstract：Thephysicalcharacteristicofmetallicruthenium 金和黄金要少。 andprocesscriterionsofnitrosoruthenium chlorideurthe． 钌在地壳中的蕴藏比例为 10-6％，与钼相同，比 nium electroplating．potassium urthenateurthenium electro， 金多(4×10 ％)。钌的市场价格约为240日 克， plating，urthenium sulfatewhiteandblackruthenium elec． 比钯 (约800日 克)、铑 (约4800日 克)、金 (约 troplating，and processcriterions and various application 1500日 克)、白金(约3300日 克)低得多。故 examplesofsulfamicacidwhiteandhlackruthenium elec． 钌的应用具有更大的市场前景。 troplatingwereintroducedrespectively．Theactionofsulfa． 本文就金属钌的