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基于云计算的半导体制造企业的制造执行系统重构.pdf
V01．18
第18卷第5期 上海电机学院学报 No．5
2015年 SHANGHAIUNIVERSITY 2015
JOURNAI．0F DIANJI
文章编号2095—0020(2015)05—0306—05
基于云计算的半导体制造企业的制造执行系统重构
赵 阳1， 杨志和
(1．海拉(上海)管理有限公司，上海201203；
2．上海电机学院电子信息学院，上海201306)
摘要：当前半导体制造工厂的帝l造执行系统(MES)存在着许多问题。给出了半导体制造工
厂制造执行系统(MES)重构的约束条件和相关要求，提出了一种基于云计算的MES重构框架及其
技术路线；重构后的MES能够适应半导体制造企业当前的生产经营和不断发展的需求。
关键词：系统重构；制造执行系统；云计算；集成电路制造
中图分类号：F426．63；TP273．05 文献标志码：A
Restructureof ExecutionforSemiconductor
ManufacturingSystem
Com BasedonCloud
Manufactoryny Computing
2
ZHAO1，YANGZhihe
Yang
(1．Hella Center ofElectronic
201203，China；2．School
CorporateChina，Shanghai
Information 201306，China)
Engineering，ShanghaiDianjiUniversity，Shanghai
numberof marthesmooth of
Abstract：A execution
problems runningmanufacturingsystem
semiconductor ofthe
(MES)in conditionsandinfluencedfactors
manufactorycompany．Constrain
MES out．MES architectureandtechnicalrouteare
restructuringareseparated restructuring pro—
restructuredisableto of andcontinuousde—
posed．MES adaptneedspresentproductionoperation
insemiconductor
velopment manufactorycompany．
words：system
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