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基于Petri网的分层半导体制造过程调度结构.pdf
第 卷第 期 同济大学学报（自然科学版）
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年 月 （ ）
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基于 网的分层半导体制造过程调度结构
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乔 非 ，李 莉 ，陈康民 ，黄 丹
（ 同济大学 研究中心，上海 ； 上海贝岭股份有限公司，上海 ）
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摘要：针对复杂的半导体制造过程调度，在综述现有调度问题及方法的基础上，提出由投料调度、路径调度和两种
类型的工件调度共同组成的分层调度结构的思想及方案，继而基于 网模型，探讨所提出的分层半导体调度结
B;7C2
构基于 网模型的实现方法，最后通过仿真对分层调度结构加以应用验证，并总结全文
B;7C2 -
关键词：半导体制造；调度结构； 网；分层的
B;7C2
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
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