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2017-08-02 发布于天津
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微光学元件之制作与量测国立中央大学

微光學元件之製作與量測 ______________________________________________________________ ( 論文題目 ) 國立中央大學光電科學研究所碩士論文研究生：羅德亨指導教授：張榮森博士中華民國 89 年 7 月日摘要微光學元件之製作與量測國立中央大學光電科學研究所研究生：羅德亨指導教授：張榮森博士論文摘要 LIGA 技術起源於德國，可用已製造高精密度的微結構元件，目前在微光學元件的製作上已扮演相當重要的角色。本論文之研究為利用 LIGA-like 製程技術以準分子雷射加工進行微光學元件之製作，方法是使用 KrF 、波長248nm 之深紫外光準分子雷射，透過一片含有數種圖樣之鍍鉻光罩，經由物鏡以投影方式在高分子聚合物基材上進行微加工刻除。同時，透過移動光罩之平台，選擇不同之光罩圖樣來完成各種之微光學元件，最後進行其表面輪廓與光學特性兩部分測量。主要之貢獻在於利用Matlab 軟體模擬所製作之微光學元件，並對各種元件之粗糙度加以計算及分析。如此將開拓微光學元件於一個全新的應用領域。 1 目錄摘要1 目錄2 圖目錄4 表目錄6 第一章、緒論7 1.1 微光學之發展 7 1.2 LIGA 製程技術簡介8 1.1.1 LIGA 製程的光源：9 1.1.2 LIGA 製程的主要特色為︰ 10 1.3 類 LIGA （LIGA-LIKE ）製程技術簡介： 11 第二章、準分子雷射加工技術 12 2.1 準分子雷射之原理 12 2.2 準分子雷射之加工機制 13 2.3 準分子雷射系統架構 16 2.3.1 準分子雷射控制模組 17 2.3.2 準分子雷射光刻方式 18 第三章、微光學元件之設計與製作 21 3.1 光罩之設計與製作 21 3.1.1 光柵繞射元件 24 3.1.2 直角錐狀反射鏡 24 3.1.3 圓柱狀透鏡 25 3.1.4 微透鏡 25 3.1.5 非球面鏡 26 3.1.6 四分之一波片 26 3.2 微光學元件之製作 27 3.3 電腦設計加工光罩形狀 28 3.3.1 微直角錐陣列 28 3.3.2 微透鏡陣列 30 第四章、微光學元件之量測 32 4.1 微光學元件表面輪廓量測 32 2 4.1.1 加工深度檢測 32 4.1.2 加工表面粗糙度檢測 40 4.2 微光學元件光學特性量測 57 4.2.1 微直角錐反射鏡之光學特性量測 57