国产镀膜机实现多层膜自动化晶振控制.PDF

第 6 期 　　　　　　　　　　　　　　　　　　真 　空 　　VACUUM 2003 年 11 月 21 国产镀膜机实现多层膜自动化晶振控制 李万福 , 秦清海 ( ( ) ) 普乐 合肥 光技术有限公司 , 安微 　合肥 　230088 摘 　要 :介绍了改造国产镀膜机的继电器控制线路的方法 ,从而实现其与 INFICON IC/ 5 晶振薄膜沉积监视 器之间接口电路的转接。生产试验表明 ,采用此法改造后的装置可实现对多层光学薄膜的高精度、快速自动 化监控。 关键词 :镀膜机; IC/ 5 ;继电控制 中图分类号: TP273 　　　　文献标识码 :B 　　　　文章编号 (2003) Automatic monitoring of multilayer f ilm control for homemade coater with crystal oscillator L I Wanfu , Qin Qinghai ( ) Polar Beam Technology CoL t d , Hef ei 230088 , China Abstract :A method reforming the relay control system to homemade vacuum coater is introduced. The conversions and connections between the homemade coater and thin film deposition monitors with quartz oscillator ( INFICON IC/ 5) are improved. The experi mental results suggest that the technique described may realize automatic monitoring for multiiayer optical film fast and accurately. Key words :coater ; IC/ 5 ;relay control 　　IC/ 5 真空镀膜监控仪是美国 INFICON INC. 生 景。 产的一套能自动控制整个镀膜工艺过程的仪器。如 1 　蒸发源控制 真空镀膜机的抽气系统、加热系统、蒸发源、坩埚自动 为了达到对蒸发源的控制我们可参阅北仪厂 换位、沉积速率、膜厚控制等参数。IC/ 5 有很强的过 ( ZZSX800 镀膜机的电子枪灯丝电路图 CA15H 程控制 ,逻辑程序编辑和膜系数据处理功能 ,层数存 [1 ] DL1) 部分 。在北仪厂DEF6H 电控柜背面板上, 储容量大 ,特别是速率和膜厚的控制能达到很高的精