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第25卷第4期增刊 仪器仪表学报 2004年8月 MEMS方法制造小型PEM燃料电池电极 张太平1 阎桂珍1 张大成1 阮 勇1 陈正豪2邢怡铭3 2(香港科技大学电气电子工程系香港) 3(香港科技大学化工系 香港) 摘要小型PEM燃料电渔史极有着比较复杂的细微结构，电极担负了收集电荷，传输燃料，催化剂载体和构架支撑的功能。 介绍了一种新的带有燃料传输孔的硅片电极制造方法，并且在它的表面上生长了一层多孔硅薄膜，以利于燃料传输，扩散和 渗透。多孔硅孑L径分布和深度范围从百纳米到几十纳米。当催化剂Pt溅射到它表面时，受多孔硅形状的限制，Pt就形成了不 连续微小颗粒，对乙醇有比较强的催化作用。用此电极缉装的电池，使用乙醇或甲醇燃料时分别有0．55V和0．6V的输出电 压。 关键词燃料皇池。多孑L硅、 PEM ElectrodeofSmart FuelCellFabricatedMEMS by YanGuizhenl Ruan C．H．Chan2 Philip ZhangTaipin91 ZhangDachen91Yon91 I—MingHsin93 1(MicroelectronicsInstitute j of PekingUniversity，Beijing ofElectricalandElectronics Scienceand 2(Department Engineering，HongKongUniversityof Technology， HongKong Chemical Scienceand of of SAR，China) 。(Department Enginnering，HongKongUniversity Technology，HongKong Theelectrodeof Abstract microrueleelliSan element．Itdescribesanovel offabricationof important approach microfuelcellelectrode．Theelectrodehasthree function：collect fuel．Anew current，catalystloader；transport methodto holesand toetch ontheinterfaceisdevel．。 producedensity plasma poly——silicon porous using
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