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引言微动机构一般指行程范围为毫米级位移分辨率及定位精度达纳米级甚至亚纳米级的位移机构微动机构通常由微位移器和精密导轨两部分组成在机械加工中大量采用了各种类型的微动机构但在超精密车削加工中压电陶瓷微动机构的应用最为广泛压电陶瓷微动机构的工作原理主要基于逆压电效应与其它类型的微动机构相比具有体积小刚度大位移分辨率及定位精度高频率响应高不发热无噪声易于控制等优点近十年来压电陶瓷微动机构的性能不断提高已逐步进入实用阶段目前国外压电陶瓷微动机构的控制精度已达到纳米级频响达到上千赫兹国内研制的压电陶瓷微动机
1.引言
微动机构一般指行程范围为毫米级、位移分辨率及定位精度达纳米级(甚至亚纳米级)的位移机构。微
动机构通常由微位移器和精密导轨两部分组成。在机械加工中大量采用了各种类型的微动机构，但在超精
密车削加工中，压电陶瓷微动机构的应用最为广泛。压电陶瓷微动机构的工作原理主要基于逆压电效应，
与其它类型的微动机构相比，具有体积小、刚度大、位移分辨率及定位精度高、频率响应高、不发热、无
噪声、易于控制等优点［1 ］。近十年来，压电陶瓷微动机构的性能不断提高，已逐步进入实用阶段。目前
国外压电陶瓷微动机构的控制精度已达到纳米级，频响达到上千赫兹；国内研制的压电陶瓷微动机构的重
复
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