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用於太能池之氧化基薄膜程特性研究白世南白哲源世全建科技大子工程系暨研究所彰化市介北路一法人家研究院家奈米元件室新竹市科展一路二十六摘要本研究以溶凝旋法掺氧化薄膜於玻璃基板藉由改旋之探不同厚度氧化基薄膜光特性之影以估用於太能池之可行性程以不同之方法探分析薄膜之特性量器包括射子微四探量紫外光可光近外光光等藉由氧化基薄膜微阻率不同波穿透率之果旋之增加氧化晶粒尺寸有大之因而造成薄膜表面粗糙度之增加而少入射光之反射此果於用於太能池之能量效率提有相大之助益同根四探量之量果示薄膜於旋二其阻率具有最小值此薄膜之
應用於太陽能電池之氧化鋅基薄膜製程與特性研究
白世南1 白哲源1 吳世全2
1建國科技大學電子工程系暨研究所
彰化市介壽北路一號
2財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室
新竹市科學園區展業一路二十六號
摘要
本研究以溶膠-凝膠旋轉塗佈法製備鋁掺雜氧化鋅薄膜於ITO玻璃基板，藉由改變旋轉塗佈之層數，探討不同厚度對氧化鋅基薄膜結構與光電特性之影響，以評估應用於太陽能電池之可行性。實驗過程以不同之方法探討與分析薄膜之特性，實驗量測儀器包括場發射電子顯微鏡(FE-SEM)、四點探針量測儀、紫外光-可見光-近紅外光光譜儀等設備。藉由對氧化鋅基薄膜微結構、電阻率、不同波長穿透率之實驗結果，發現
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