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垂直扫描白光干涉测量数据处理算法分析.pdf
第 卷第 期 24 1 湖北汽车工业学院学报 Vol. 24 No. 1 年 月 2010 3 Journal of Hubei Automotive Industries Institute Mar. 2010 doi ：10.3969/j.issn.1008-5483.2010.01.011 垂直扫描白光干涉测量数据处理算法分析 张 倩 崔长彩 周晓林 范 伟 傅师伟 ， ， ， ， 华侨大学机电及自动化技术学院 福建厦门 （ ， 361021 ） 摘 要 研究了垂直扫描白光干涉测量数据的改进质心处理算法以准确得到被测表面的微观形貌信息 根据垂 ： 。 直扫描白光干涉测量原理分析了质心算法改进前后的对干涉谱的处理能力 实验测量对象是 为 的 。 Ra 0.074 μm 多刻线标准样板 采用高斯滤波算法分离粗糙度信号 对其二 三维参数进行了评定和分析 得 为 ， ， 、 ， Ra 0.0748 μm 。 结果证明 改进质心算法原理正确 计算精度满足测量要求 可有效排除直流信号等因素对质心算法的影响 ， ， ， 。 关键词 垂直扫描白光干涉 质心算法 粗糙度 参数评定 ： ； ； ； 中图分类号： ； 文献标志码： 文章编号： （ ） TH744 TP274 A 1008-5483 2010 01-0042-04 Research on Vertical Scanning White-light Interferometric and Interferogram Processing Algorithms Zhang Qian ， Cui Changcai ， Zhou Xiaolin ， Fan Wei ， Fu Shiwei （College of Mechanical Engineering and Automation ， Huaqiao University ， Xiamen 361021 ， China ） Abstract ： To precisely obtain the topography of a measured surface, the sampled data processing algorithms of vertical scanning white-light i
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