集成光路器件原理、制造和测试技术.PDFVIP

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2017-07-11 发布于四川
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集成光路器件原理、制造和测试技术

讯石联谊会培训系列讲座集成光路器件原理、制造和测试技术第二讲 InP基光器件和集成光路陈益新上海交通大学集成光学/二 1 内容提要 • 半导体的光发射和光吸收 • InP基有源光器件原理和结构 – LED – LD 和 VCSEL – PD • InP基集成光路 – InP光器件集成概述 – SG-DBR 可调激光器 – DS-DBR 可调激光器 – InP M-Z调制器及集成 – 大规模集成光路（LS-PIC ）集成光学/二 2 半导体能带图 Conduction Electron Band EC EC • • • •••••••• EF EC EF Acceptor Bandgap E ED ED level F Eg Fermi Donator EA EA level EF EV level EV EV EF      Valence Band Hole 本征半导体 N-型（搀杂） P-型（搀杂）半导体半导体集成光学/二 3 P-N 结及电荷分布 Self-built Field Self-built Field P N Space Charge Zone p E c p E v