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三维原子探针(3DAPT)分析技术简介 - 国家奈米元件实验室
1
02
(3DAPT )
Introduction of analytical technology of 3DAPT
- (FinFET)
Abstract
The capability of existing advanced metrology tools is not able to provide both of
structural and elemental information at the same time. However, in many areas of
research in material science, there is an overwhelming demand for advanced metrology,
especially in semiconductor research of FinFET structures. It is therefore, of extreme
interest to develop a method that provides data with resolution at atomic level for
detailed characterization. This article will introduce a 3D Atom Probe Tomography
method to overcome current analytical limitations in the eld.
Keywords
FinFET , 3D Atom Probe Tomography
(3DAPT)
NANO COMMUNICATION 21 No. 4
03
(Field ion microscopy (FIM))
( 3 D - A P o r A P T : A t o m P r o b e FIM
Tomography) .(Time of Fly Mass Spectroscopy)
3D [1]
(Electrical Polishing) 3
3D
[2] (50nm)(10-
11mbar) 20-100 K
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