红外探测器寿命试验设备真空系统研制-激光与红外.pdf

第４５卷　 第８期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ４５，Ｎｏ８ 　 ２０１５年８月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ａｕｇｕｓｔ，２０１５ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１５）０８０９３１０３ ·红外材料与器件 · 红外探测器寿命试验设备真空系统研制 １ ２ ２ 曹　岚 ，张海燕 ，龚海梅 （１上海电力学院能源与机械工程学院，上海２０００９０；２中国科学院上海技术物理研究所，上海２０００８３） 摘　要：对于空间应用的红外探测器组件，定数截尾寿命试验是一种很重要的可靠性试验方 法，其统计结果是可靠性预测的重要依据。考虑到红外组件试验过程的高真空要求，设计了一 种多工位真空系统。在完成系统的结构设计和关键部件的真空设计后，进行了生产加工并通 过了实验验证。实验结果表明，本文设计的真空系统功能可正常运行，系统空载真空可达到 －５ －４ ２４２×１０ Ｐａ，满足等工位真空度优于３×１０ Ｐａ的系统要求。 关键词：红外探测器；寿命试验；真空 中图分类号：ＴＢ７　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０３９６９／ｊｉｓｓｎ１００１５０７８２０１５０８０１２ Ｄｅｓｉｇｎｏｆｖａｃｕｕｍｓｙｓｔｅｍｆｏｒｉｎｆｒａｒｅｄｄｅｔｅｃｔｏｒ ｌｉｆｅｔｅｓｔｅｑｕｉｐｍｅｎｔ １ ２ ２ ＣＡＯＬａｎ，ＺＨＡＮＧＨａｉｙａｎ，ＧＯＮＧＨａｉｍｅｉ （１ＳｈａｎｇｈａｉＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＥｌｅｃｔｒｉｃＰｏｗｅｒ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００９０，Ｃｈｉｎａ； ２ＳｈａｎｇｈａｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｉｃａｌＰｈｙｓｉｃｓｏｆＴｈｅＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００８３，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｔｙｐｅ ｃｅｎｓｏｒｉｎｇｌｉｆｅｔｅｓｔｉｓａｖｅｒｙｉｍｐｏｒｔａｎｔｒｅｌｉａｂｉｌｉｔｙｔｅｓｔｍｅｔｈｏｄｓｆｏｒｔｈｅｉｎｆｒａｒｅｄｄｅｔｅｃｔｏｒａｓｓｅｍｂｌｙ Ⅱ ｉｎｓｐａｃｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎＣｏｎｓｉｄｅｒｉｎｇｔｈｅｈｉｇｈｖａｃｕｕｍｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｓｆｏｒｔｈｅｌｉｆｅｔｅｓｔｐｒｏｃｅｓｓｏｆｉｎｆｒａｒｅｄｃｏｍｐｏｎｅｎｔ，ａｈｉｇｈ ｖａｃｕｕｍｓｙｓｔｅｍｗｉｔｈｍｕｌｔｉｓｔａｔｉｏｎｓｗａｓｄｅｓｉｇｎｅｄＡｆｔｅｒｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄｅｓｉｇｎｏｆｔｈｅｓｙｓｔｅｍａｎｄｖａｃｕｕｍｄｅｓｉｇｎｏｆｋｅｙｐａｒｔｓ ｗｅｒｅｃｏｍｐｌｅｔｅｄ，ｔｈｅｓｙｓｔｅｍｗａｓｖｅｒｉｆｉｅｄｔｈｒｏｕｇｈｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓＴｅｓｔｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｎｏｌｏａｄｖａｃｕｕｍｉｓｕｐｔｏ２４２ －５ －４ ×１０ Ｐａ，ｗｈｉｃｈｍｅｅｔｓｔｈｅｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｏｆ３×１０ Ｐａｆｏｒｓｐａｃｅａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｉｎｆｒａｒｅｄｄｅｔｅｃｔｏｒａｓｓｅｍｂｌｙ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｉｎｆｒａｒｅｄｄｅｔｅｃｔｏｒｓ；ｌｉｆｅｔｅｓｔ；ｖａｃｕｕｍ １　引　言 组件定数截尾寿命试验的要求，因此本文进行了专 对于空间应用的红外探测器组件，定数截尾寿 用于红外探测定数截尾寿命试验的高真空系统设 命试验是一种很重要的可靠性试验方法［１－４］，而真