基于SOI 的可变电容的特性分析.PDF

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基于SOI 的可变电容的特性分析

( ) , 40 , 5 , 2004 9 Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Pekinensis, Vol. 40, No. 5 ( Sept, 2004) 基于SOI 的可变电容的特性分析1) 延 涛 张国艳 黄 如 王阳元 ( , , 100 71, Email: yant@ ime.pku. edu. cn) ISE AC , SOI ( ) , SOI , SOI , , SOI ; SOI; ; ; ISE TN 4 0 CMOS , , ( RF ICs) , , CMOS , , CMOS RF [ 1, 2] SOI CMOS , SOI RF , SOI , RF SOI [ 3~ 5] RF , RF , SOI [ 6, 7] SOI , , , : , , ISE AC , Y , Y 1) 63 SOC ( 2002AAIE1590) : : 35 ( ) 40 1 SOI SOI MOSFET, P ( N ) , + + PMOSP N , 1 , 1 , pn V GS , V 0 V DS 1 SOI , VDS = 0 V , , Fig . 1 Structure of the Threeterminal SOI Varactor + N + - , , COX VDS , P N , , , - N ( ) , , VGS , VDS 0 , , COX , VDS , 2 2( a) + + ( ) Rc1 ,Rc2 , Rc3 , Rb1,Rb2 P N *

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