无尘室验证标准及程序概要1.pptVIP

五.無塵室內噪音測試 (Noise level testing): As Built 目的 测量洁净室里的机械和电力系统所产生的噪声 规格 平均噪声：= NC 65 测试状态：空态 方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 9.) 1.测试之前所有气流平衡已经完成. 2.在读取读数之前所有的风机单元和空调设备均已开启. 3.洁净室每个测试格不大于40平方米. 4.噪声仪距地板以上1米的位置, 同时探头指向运行的设备. 5.噪音仪测试单位NC,在每个测试点读取数据. 6.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并於避免洁净室入口位置进行测试. 7.用算术的方法来计算房间的平均噪声数据.  六.無塵室內照度測試 (Lighting level testing): As Built 目的 在洁净室内工作高度位置的光照度 规格 平均光照度: 依原設計規範需求 测试状态：空态 方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom (Chapter 11.) 1.所有的荧光灯开过至少在100小时. 2.在测试前确保照明灯开着至少在2小时以上. 3.洁净室每个测试格不大于25平方米. 4.光照仪表在测试格中央，距地板上1米的位置. 5.如果测试位置有障碍物, 可选择位于阻碍物上的6英尺处, 并避免洁净室入口位置进行测试. 6.采集所有读数并记录. 七.無塵室內環境微粒子測試 (Air Particle counts): As Built  目的 用于检查或验证洁净室是否达到設計要求的洁净等级 规格 测试状态：空态 方法 参考： ISO 14644-1/2 NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom 1.在测试前洁净室至少净化12小时以上. 2.洁净室的测试格以不少于总面积开平方根的数量来均匀划分。 3.取样量为每分钟1个立方英尺,取样时间为一分钟。 4.在每个点的中心最小取一分钟，高度在1米左右. 5.当有障碍物时采样点放在障碍物12 英寸上面. ISO 14644-1 Federal Standard 209E 潔淨等級比較表 Federal Standard 209E ISO 14644-1 FS Class ISO Class - 1 - 2 1 3 10 4 100 5 1,000 6 10,000 7 100,000 8 ISO Classification Maximum Concentration limits (particles/m3 for air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below. 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm ISO Class 1 10 2 ISO Class 2 100 24 10 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 35 200 8 320 293 ISO Class 7 352 000 83 200 2 930 ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300 ISO Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000 懸浮顆粒潔淨等級對比表 八.無塵室內靜電地板導電度測試 (Floor Conductivity testing): As Built 目的 测试点与洁净室地板之间的电阻(欧姆) 规格 地板导电测试：104 ~ 106 Ω. 方法 參照:NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom 1.测量过程中,测试电压为500 伏特电阻. 2.在每次测试前,应先清洁重锤及测试区域. 3.地板电阻将测量在每30平米1个点，每个房间至少1个点. 4.测试电阻时,将一端连接到置于测试格内的重锤,另一