无尘室技术手册概要1.pptVIP

潔淨室基本要求 (1) 空氣中的微塵粒子之數量少於一定標準。 使用高效率濾網(HEPA, ULPA) 使用不發塵材料(庫板、地板、燈具等) 時常清潔 使用不鏽鋼材質 能防止外界微塵粒子的進入。 潔淨室的氣密性考量 外氣先經外氣空調箱過濾(初級、袋型、HEPA濾網)，進潔淨室後有ULPA濾網過濾 潔淨室保持正壓(約15 Pa) 排氣與進氣量的平衡(進氣排氣) 室內產生的微塵粒子或有害氣體能迅速排出室外。 換氣次數大,氣流保持順暢 潔淨室基本要求 (2) 能維持溫度、濕度及室壓於一定的標準。 除濕能力(潛熱與顯熱) 冬季加濕能力(蒸氣加濕) 精密的控制(Sensor與閥件) 乾盤管的熱交換能力與數量 外氣空調箱與Exhaust對潔淨室的壓力控制 能防止靜電、電磁的干擾。 良好的接地 材料的選擇(庫板塗料、導電地板) Ionizer的安裝 適當的管理 安全因素及節約能源的考量。 Cleanroom相關名詞 無塵室：係指製造廠內維持穩定溫度、濕度及潔淨度等環境控制 之生產場所。 MAU：Make-up Air Unit，稱之謂外氣空氣調節箱；專為提供無塵 室室內新鮮外氣之處理器，外氣經此設備後可降溫、除 濕及除去外氣所攜帶之粉塵顆粒，以維持室內一定之濕度 及室內正壓值，防止外氣經由縫隙侵入，破壞無塵室環 境。 FFU：Fan Filter Unit，稱之謂風機濾網組；專為提供無塵室室內氣 流循環及濾除室內粉塵顆粒，以維持穩定潔淨度之設備。 DCP：Dry Cooling Pump： 乾盤管泵浦；專為DCC供應穏定泠却 水，以維持DCC之穏定性。 DCC：Dry Cooling Coil，乾盤管：裝設於P層回風道入口處，專為 移除室內因製程機台生產及建築輻射等產生之熱量，以維持 室內穩定之溫度環境。 PB：Pass Box，傳遞箱；專為提供無塵室室內外物品傳遞使用。 AS：Air Shower，空氣浴塵室； HEPA Filter：High Efficiency Particulate Air Filter，高效過濾網。 ULPA Filter：Ultra Low Penetration Air Filter，超高效過濾網。 潔淨室所需外氣量（Make-Up Air） 潔淨室所需外氣量（Make-Up Air）CMH/CR-M2 目前各潔淨室室內正壓一般設定在1~2mmAq，外氣量規劃： 外氣量O.A（CMH）＝排氣量E.A（CMH）+ 2次 換氣量 (CMH） 以目前各廠實際運轉狀態下，其各種不同產業潔淨室內單位面積（CR-M2）所需的外氣量如表列： 可知各廠生產線所需處理的外氣量用量非常大(10,000~1,000,000）CMH；而外氣空調箱的運轉費用佔了全廠空調系統極大的比例，夏季時必須將高溫高溼空氣除濕降溫至與潔淨室內條件下的露點溫度再經由顯熱加溫到設定的送風溫度（一般設定小於室內乾球溫度5°C）而導入潔淨室內與室內循環氣體進行混合。 無塵室內之濕度係由MAU作調節及控制 潔淨室內循環風量的決定(第2種) 潔淨室內循環風量的決定(第2種) 無塵室建造流程圖 Special Foundation 潔淨室環境控制-室內靜壓及溼度 為什麼叫乾盤管? 什麼是換氣次數? 無塵室施工規範====金屬隔間庫板 A. 採用總厚t=50mm於工廠預制成型組合金屬庫板，四邊以t=0.5mm錏板框材密封，板 與板間用t=0.5mm ㄇ型錏板成型骨材崁合，每@900mm/1200mm 放置一支做連接固定。 B. 金屬庫板雙面外覆總厚度≧0.5mm彩色鋼板，材質符合以下要求: 1. 采鍍鋅冷軋鋼板,符合JIS G 3312 CGLC規定。 2. 鋁鋅層至少50g/M2(雙面)符合ASTM A90規定。 3. 烤漆:正面采二塗二烤PE 聚脂面漆,至少15μm 以上。背面采一塗一烤EPOXY 漆,至少5μm以上。 4. 特性需求引用標準 ●鋁硬度 ASTM D3363 ●鹽霧試驗ASTM 8117 ●衝擊試驗ASTM D2794 ●耐候試驗ASTM G53 ●塗膜厚度 ASTM D1005 ●光澤度 ASTM D523 ●彎曲耐試驗ASTM D4145 ●濕潤試驗ASTM D2247 2. t50mm一小