有哪些信誉好的足球投注网站- 1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
单晶硅各向异性对固结磨料线锯切片质量的影响-中国机械工程
中国机械工程第 卷第 期 年 月下半月 19 22 2008 11 单晶硅各向异性对固结磨料线锯切片质量的影响 高玉飞 葛培琪 赵慧利 张 磊 暋 , , 山东大学 济南 250061 : , 摘要 将线锯切割单晶硅的锯口形状近似为半圆槽 并将其理解为由许多平行于锯丝轴向的离散表 , 。 , 面组成 建立了固结磨料线锯切割单晶硅模型 通过保持锯丝两边锯切材料去除率的对称性 在单晶硅 ( )、( ) ( ) , , 的 和 三个晶面 选择不同的锯丝切入方向 从理论上分析了各向异性对线锯切割硅片 100 110 111 。 : ( ) ( ) , ; 质量的影响 分析得出 锯切 100晶片和 110晶片时 锯丝切入方向的改变不影响硅片表面质量 锯 ( ) , [ ]、[ ]、[ ]、[ ]、[ ] [ ] , 切 晶片时 选择 和 晶向进行锯切 可有效提高晶片的全局 111 110 110 011 011 101 101 , , , 。 。 平面度 降低晶片表面法线偏移量 降低硅片翘曲度 提高硅片表面质量 实验验证了分析的正确性 : ; ; ; 关键词 线锯 单晶硅 切片 各向异性 中图分类号: ; 文章编号: — ( ) — — TQ164TG74暋暋暋 1004 132X200822 2748 05 StudonEffectsofMonocrstallineSiliconAnisotro onSlicinWafer ualitUsinFixed-abrasiveWireSaw y y py g Q y g GaoYufei GePeii ZhaoHuili Zhan Lei q g , , Shandon Universit Jinan250061 g y : AbstractThekerfshaeformeddurin fixed-abrasivewiresawslicin monocrstallinesilicon p g g y , wasconsideredasasemi-circular rooveandwasvisualizedtoreardasthatformedb man g
文档评论（0）